一、濕度在半導體行業中的要求半導體的生產工廠要在全年四季的氣候條件下，生產車間內部要求維持穩定的環境，特別是對于生產環境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個空調參數都提出了嚴格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環境系統的要求，由于電子產品對靜電的敏感性和高濕度環境對其品質的影響，其對濕度的精度提出了嚴格要求，對于空調系統的配置，則要求系統同時具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。一般的，半導體生產行業的溫濕度條件為：T=22±2℃，RH=45±5%；而對于這個溫濕度要求，傳統上經常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進行處理，并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個致命問題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費，特別是由于半導體行業的大新風，大排風系統、生產環境為大空間潔凈環境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區的特殊情況，使得這個問題十分突出。因此，在最新的許多半導體廠房的空調系統開始使用新風通過新風機組(冷卻除濕)和轉輪除濕機聯合處理濕度、溫度而后通過后空調機組處理的組合方式，達到室內送風溫、濕度要求，并取得了顯著收益。二、工程實例（一）設計條件及要求：a、室內要求：T=22±2℃；RH=50±5%；TL=11.5℃；d=8g/kg；b、潔凈級別：10K ( 10000級) ；c、體積：S=2000m2；H=2. 8m；d、工作人員：30名...
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2025
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一、鋰電池產品生產工藝的環境要求分析根據工藝需求特點，可以大致將鋰電池生產廠房對于空調系統的濕度需求分為以下三類：1)普通濕度需求空調房間，如負極涂布間等房間，其濕度控制需求為≤60%，該需求可通過冷卻除濕實現。2)低濕需求空調房間，如正極輥壓間、正極分條間、正極模切間以及正極二分間等房間，其濕度控制需求為≤20%，以及正極涂布間、負極輥壓間、負極分條間、負極模切間以及負極二分間等房間，其濕度控制需求為≤45%，該需求通過冷卻除濕很難實現，因此往往通過轉輪除濕機組處理后來滿足使用需求，機組中設置一級轉輪。3)低露點濕度需求空調房間，如干燥間、化成間以及注液間等房間，其濕度控制需求為露點≤-50℃，甚至更高，該需求現有的一級轉輪除濕機組很難滿足工藝需求，工程中一般設置兩級轉輪除濕段對房間空氣進行處理，以滿足使用需求。二、鋰電池生產行業除濕方式的選擇和確定現行的空氣除濕方式有很多種，包括冷卻除濕，液體吸附劑除濕，固體吸附劑除濕，膜除濕等。在實際應用中，單一除濕技術很難滿足要求，而且從節能角度考慮，多種除濕技術聯合使用能綜合各種技術的優勢、規避自身不足，在節能的同時提高除濕的效率。目前，空氣除濕主要有冷卻除濕和轉輪除濕。在空調除濕系統中，冷卻除濕在高溫高濕的環境且對濕度要求不是很嚴格的條件下，效果還是比較好，但在除濕量比較大且環境溫度比較低的環境中，濕度和溫度要求比較高的地方，采用冷卻除...
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一、分析醫藥生物類潔凈廠房的特點及火災危險性所謂的潔凈廠房是指在建設進程有特殊要求凈化車間。由于潔凈廠房在使用上的特殊性，決定了其建筑結構、布局、功能分區等方面不同于一般建筑物的施工，潔凈廠房具有的特殊性和復雜性。再結合醫藥生物類企業特點，可以把醫藥生物類潔凈廠房的特點歸為以下幾類：1.建筑和裝修材料大多數是可燃材料。由于潔凈廠房需要特殊，常使用許多新的復合材料，加之一些施工單位缺乏消防知識，選擇顏色鋼鐵和泡沫，增加了火災發生的概率，且這些材料燃燒，會產生大量的有毒氣體。2.醫學潔凈廠房由于清潔無菌工藝要求，密封性好，火災發生后室內溫度迅速升高，熱量難以散發，使可燃物很快達到燃點而促使火勢擴大，且火勢沿內部風管迅速蔓延至各個角落，煙霧覆蓋面積大，能見度低，致使人員疏散困難，極易窒息，搜救工作難度大，人員傷亡率較高。3.制藥行業潔凈廠房經常使用各種易燃易爆危險化學品，比如使用環氧乙烷、酒精、天然氣活躍的鎳、鈀炭等易燃易爆物品，制藥技術在殺菌過程中的火焰法和環氧乙烷法都有著很大的火災危險。二、設計好廠房的平面布置為了確保廠房的整體消防安全，在廠房建設前，應由設計單位、建設單位、使用單位、設備安裝或供應單位對廠房的整體布置提前進行科學論證。在廠房的平面布置上，重點應注意以下兩個方面：首先，易燃易爆的工藝或設備間應盡可能安排在廠房外，或者與廠房貼鄰。如果是特殊情況必須布置在廠房內的，應該緊...
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電子級磷酸屬于高純磷酸，是電子行業使用的一種超高純化學試劑，屬于電子化學品系列產品之，是電子工業不可替代的無機化工產品。電子級磷酸廣泛用于大規模集成電路、薄膜液晶顯示器等微電子工業，主要用于芯片的清洗和蝕刻，其純度和潔凈度對電子、元器件的成品率、電性能及可靠性有很大影響。而環境控制是電子級磷酸項目的質量保障體系之一，具有十分重要作用。大氣中所含塵埃和多雜質，會對高純度的電子級磷酸產品造成污染，因此必須在產品制備過程中和分析檢測過程中，對各個環節可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理，達到相應的潔凈度要求。除工藝空氣必須經物理和化學方法凈化，以免帶入固體微粒等雜質外，生產車間、輔助車間、實驗室等都有清潔度要求。由于電子級磷酸質量不僅與生產工藝有關，而且與超凈生產環境密切相關。因此必須在產品制備過程和分析檢測過程中，對各個環節可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理，達到相應的潔凈度要求。凈化空調系統設計一、空調負荷空調負荷主要由圍護結構傳熱、人體散熱、室內照明散熱、室內設備散熱、室內散濕過程產生的潛熱和新風負荷等部分組成。經計算，本工程夏季空調系統耗冷量為214kW，選用一臺制冷量為226. 4kW水冷螺桿式冷水機組；冬季空調系統耗熱量為345kW，熱源由廠區鍋爐房提供。二、換氣次數根據《潔凈廠房設計規范》中提出的換氣次數與潔凈度的關系，ISO Class6潔凈度要求的換氣次數為50~60次/h，...
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一、醫藥潔凈空調潔凈度設計潔凈室是室內空氣潔凈度達到一定級別的房間，空氣潔凈級別依據每立方米空氣中的微粒數來確定。各個國家對空氣潔凈級別的劃分有不同的標準。《藥品生產質量管理規范》規定一萬級潔凈區每立方米空氣中0.5μm塵粒數≤350000，≥5μm塵粒數2000，浮游菌數≤100，沉降菌數≤3/皿；十萬級潔凈區每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數≤3500000，≥5μm塵粒數≤20000，浮游菌數≤500，沉降菌數≤10/皿。凈化空調系統通過對空氣進行凈化處理(過濾)以達到規定的潔凈級別要求。以前較常見的做法是：只給主要房間送風，其余房間利用其回風或由潔凈走廊回風，房間頂部布置回風口。這種方法施工方便，但造成各房間交叉污染。初效過濾器、中效過濾器置于空調機組內，高效過濾器(或亞高效)置于各房間頂部(若吊頂空間不夠也可置于房間上側面)，由房間下側部回風。各房間(包括潔凈走廊)均設置送回(排)風口，上送下側回(排)。這種氣流組織方法利于單獨調整各房間的正壓，減少各房間之間的影響，系統潔凈度提高。二、醫藥潔凈空調溫濕度設計醫藥潔凈廠房據產品品種、潔凈級別、運行班次、使用時間等劃分為不同的潔凈空調系統，潔凈室的溫度一般控制在18~26℃，相對濕度控制在45%~65%，常采用一次回風處理方案。其處理方法和具體計算與一般舒適空調有所不同，加上每個系統房間較多，各個房間熱濕負荷不同，設計時較難兼...
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一、醫藥廠房潔凈區內部污染的產生醫藥廠房潔凈區內有大量的工藝設備、運輸工具及工作人員，這些工藝設備、運輸工具、人員本身會產生粉塵、濕熱氣體、異味及細菌等污染物，構成了潔凈區內的污染源。控制潔凈區內部污染物的擴散，也是醫藥廠房潔凈空調設計的重要內容。二、控制醫藥廠房潔凈區內部污染方式探討1.產生粉塵房間的污染控制藥品生產過程中有許多工序可能產生粉塵，如粉碎篩分、制粒、膠囊充填等工序，如果這些房間空調氣流組織不合理，會造成粉塵擴散，從而影響到該房間空氣潔凈度。以粉碎間為例，設計中送、排風口可能有幾種布置方式：方案A投料口的粉塵可能會隨氣流擴散至整個房間，導致房間潔凈度超標；方案B通過局部排風罩，雖可以有效控制投料口的產塵，但可能使局部排風罩上形成氣流死角，造成新的積塵點，產生新的污染源；方案C在靠近投料口側墻上部和房間側墻底部均設置排風口，可有效控制投料口和出料口的粉塵擴散，防止其污染房間其他區域。綜上所述，方案C既可以防止粉塵擴散，又不影響房間的氣流組織，應為最佳方案。2.產生濕熱氣體房間的污染控制制藥生產線潔凈區同時還有部分工序會產生濕熱氣體，這些房間很可能因為濕熱氣體的散發，使潔凈區內的溫、濕度長期無法滿足設計要求。因此，在設計中必須考慮快速將房間中的濕熱氣體排走，如果我們按普通潔凈區做法，采用上送下側回的方式，會造成以下幾個問題：(1)濕熱氣體無法快速被排走，潔凈區內溫度過高，...
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《潔凈廠房設計規范》對潔凈廠房疏散走廊明確提出了機械排煙要求，但對于潔凈室沒有明確規定一定要設機械排煙，實際工程中各地消防部門對于集成電路廠房潔凈室是否設排煙的問題上要求也不一致；但集成電路生產企業的業主通常會將整個廠房進行投保，由于集成電路生產中要使用多種易燃的氣體和液體，保險商一般均要求潔凈室設置機械排煙措施，否則增加保費。所以在集成電路潔凈工程中，潔凈室機械排煙經常是不可回避的問題。集成電路廠房潔凈室國內外目前常用的排煙方式有兩種：即下排煙和上排煙。一、下排煙方式下排煙一般是在潔凈室回風下夾層或回風豎井內設置排煙口，當潔凈室或潔凈室下夾層發生火災時，則打開排煙口，開啟排煙風機進行排煙，此時新風機組繼續運行，往潔凈室上夾層內補充新風，并通過必要的閥門切換使上夾層與潔凈室和下夾層隔開，上夾層內新風由FFU送入室內。采用下排煙必須有以下條件：即潔凈室發生火災時，潔凈室頂部FFU下吹的斷面風速必須大于煙氣上升的速度，否則煙氣會在潔凈室頂部積聚。通常FFU下吹速度為0.25~0.5m/s，而火災的熱釋放率只要大于3kW，煙氣的上升速度就會大于0.5m/s，所以下排煙方式只是在潔凈室發生小火災時有效。下排煙方式最近幾年在國外的一些集成電路廠房中得到應用，但國內工程中用得較少。二、上排煙方式上排煙是在潔凈室吊頂上設置排煙口，通過排煙風管將各排煙口連接至排煙風機，當潔凈室發生火災時，打開排煙...
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集成電路潔凈廠房是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該潔凈室對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD (靜電控制)、AMC(氣態分子級污染物)控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室，集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。一、FFU系統已成主流方案根據潔凈室空氣循環特點可以將潔凈室分為三種類型：循環空調機配合高效送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU(風機過濾單元)循環系統。第一種形式在小規模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。第二種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。第三種的FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為最主要的潔凈設計方案。FFU循環系統的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產輔助區為集成電路制造廠務設備區域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。二、AM...
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IC 生產由于其工藝加工線寬極小，所以對溫濕度的精度要求很高，通常溫度精度為土0.3~±0.5℃，相對濕度精度為±2%~±3%。該類廠房潔凈室一般采用新風集中處理加FFU系統，在下夾層或.上靜壓箱內設干表冷器。潔凈室內的相對濕度由新風機組保證，溫度由干表冷器保證。一、新風處理及相對濕度保證新風處理機組中設置初、中、高效三級過濾，以去除室外空氣中的灰塵粒子，設高效過濾器很有必要，可以延長潔凈室頂部FFU內ULPA過濾器的使用壽命；設置化學過濾器主要是去除室外空氣中對IC生產有影響的雜質氣體，根據工廠所在地的室外空氣品質設置相應的化學過濾器，化學過濾器后通常需設中效過濾器以去除化學過濾器本身的產塵；通過設在新風處理機組內的兩級表冷、兩級加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風處理機組出口的干球溫度及露點溫度全年基本恒定，而機組出口的露點溫度還應根據其對應送風區域內的相對濕度進行連續的重新整定，以保證室內的相對濕度。這里不以房間內的相對濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內的相對濕度連續的重新整定機組出口的露點溫度，再由該露點溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時的濕度控制。由于外網蒸汽中含有對IC生產有影響的雜質，新風處理機組的加濕應采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設在表冷器前，這樣可以使新風處理機組有提高相對濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級純水(一級RO...
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2025
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一、安全保證措施1.在項目經理領導下，以施工現場專職安全員為首，組織各施工隊、組，各工種的兼職安全員，成立現場安全管理小組，負責全工地的安全生產的教育、指導、監督和管理2.加強對職工的安全思想教育，提高職工“安全第一、預防為主”的方針的認識，讓每個職工懂得安全生產“人人有責”。組織現場職工學習，貫徹建筑安裝安全技術操作規程，對不同工種分別學習有關安全規程，堅決貫徹執行3.嚴格貫徹中華人民共和國建筑法第四十六條的規定“未經安全生產教育培訓的人員，不得上崗作業”。與每個職工簽訂安全責任協議，實行獎罰制度，約束職工自覺遵守各項規章制度4.由專職安全員對工地現場的安全生產進行經常性的巡回檢查外，每星期組織一次現場安全管理小組對工地現場進行一次安全生產檢查，促進現場安全生產更上一臺階，消除一切安全隱患，到達安全生產預防為主的目的5.施工用電由專人負責，接線正確，不得亂拖亂拉，機電設備應一律設安全防護罩和接地、接零。機具操作由專人負責，并安裝觸保器，做到一機一閘一觸保器，同時配有一箱一鎖。特殊工種操作者必須持證上崗，確保安全生產。夜間施工應有足夠的照明，并有電工跟班6.切實做好現場施工管理工作，道路要平整、暢通，材料、構件堆放有序且平穩整齊。施工現場及職工生活區設置消防器材，在嚴禁明火的場所嚴禁吸煙，宿舍內吸煙應備有煙灰缸，不準隨便亂丟煙頭。現場設有醒目安全標志及安全宣傳圖牌，增強職工安全意識...
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