芯片有著很強(qiáng)動(dòng)力和潛力，隨著國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對(duì)芯片需求不斷增多，從LED/半導(dǎo)體/線路板芯片制備到器件封裝，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣品質(zhì)都有較高的要求，空氣品質(zhì)關(guān)系著成品率和產(chǎn)品品質(zhì)。很多半導(dǎo)體工業(yè)都需要用到無(wú)潔凈室。今天小編就來(lái)詳細(xì)介紹一下半導(dǎo)體集成電路潔凈室的原理還有標(biāo)準(zhǔn)是什么？以及日常維護(hù)事項(xiàng)，一起往下看吧！

【潔凈室】又稱為【無(wú)塵室】，是將一定空間范圍內(nèi)之空氣的微塵粒子、有害氣體、細(xì)菌等污染物排除于外，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)之房間。也就是說(shuō)這個(gè)受控的房間內(nèi)之微塵粒子相當(dāng)稀少。

根據(jù)國(guó)標(biāo)GB50073—2013，潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)為1~9級(jí)。在具體實(shí)踐中，常參考美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)FS 209E，其中的空氣潔凈度等級(jí)有1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)等，如表1-1所示。

潔凈室應(yīng)該具備哪些要素？

基本上潔凈室應(yīng)該要具備以下的功能：

1、能去除空氣中漂浮之微塵粒子。

2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

3、能控制溫度及濕度。這是因?yàn)槊荛]的環(huán)境需要溫度及濕度控制以符合人體舒適度，另一方面溫度及濕度也可以控制微生物的生長(zhǎng)。其次，濕度過(guò)大也會(huì)影響到電子產(chǎn)品的品質(zhì)。

4、能調(diào)節(jié)壓力。這是為了要控制無(wú)塵室內(nèi)為正壓或負(fù)壓。

5、能調(diào)節(jié)溫度。

6、能防止靜電。這是一定要的，電子產(chǎn)品怕靜電了，尤其是還未封裝的晶圓。

注：另外還必須考慮到安全因素（包含火災(zāi)滅火與緊急狀況逃生）

濕度可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的?原因有?：

1.細(xì)菌生長(zhǎng)；

2.工作人員感到室溫舒適的范圍；

3.出現(xiàn)靜電荷；

4.金屬腐蝕；

5.水汽冷凝；

6.光刻的退化；

7.吸水性。

細(xì)菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲）在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。合景凈化工程公司認(rèn)為，應(yīng)將濕度控制在處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。

相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺(jué)舒適的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

高濕度實(shí)際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。

相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

以上就是廣東賽特凈化設(shè)備有限公司為大家整理的關(guān)于半導(dǎo)體集成電路潔凈室的原理、空氣潔凈度等級(jí)還有潔凈室的維護(hù)了，希望對(duì)大家能有所幫助。如果您也有遇到半導(dǎo)體集成電路不明白的問(wèn)題，歡迎給我們私信或留言，我們也會(huì)為您解答疑問(wèn)！