潔凈室廠房空調系統首先是空調系統，因此，一般空調系統的節能措施，如圍護結構保溫、系統變流量、排風熱回收、選用高效制冷機、水泵風機設備等，都可以適用于潔凈室廠房空調系統的節能設計和改造。同時，潔凈室廠房空調系統有自己的特點，也就有自己的系統節能特點和方式。
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1?潔凈風量與空調風量分開
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潔凈室送風的功能，一是空調（空氣進行溫、濕處理，滿足潔凈室的溫、濕度要求）；二是凈化（空氣過濾滿足潔凈室的潔凈度要求）。一般情況下凈化風量大大超過空調風量。如果讓空調送風同時起到空調和凈化的作用，即空調風量和凈化風量不分開，所有的回風都要經過空調箱集中處理。此非常大風量經過空氣處理設備時，阻力會很大，風機耗能急劇增大。 同時，為了除濕，所有回風都要處理到露點狀態，后為了不使室內溫度過低，還需對送風進行再熱。冷熱抵消，造成不必要的浪費。而如果把空調和凈化兩部分風量分開處理，凈化風量就只進行過濾處理，可大大縮短凈化風量輸送管道長度；而對于空調風量，由于風量變小，可以節省空氣冷熱處理，并且同時可以減小輸送斷面和輸送耗能。
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在常見的潔凈空調送風方式中，集中送風方式、隧道式送風方式都沒有很好地將空調風量與潔凈風量分開。為了方便空調和凈化功能的分離，可充分利用房間結構就近完成。利用房間夾層將大部分潔凈風量直接送至頂層的高效過濾器處，而無需離開潔凈室，從而降低了潔凈風量的輸送能耗。通過回風口處的風閥，可以調節潔凈風量與空調風量的比例。
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2?減少空調系統風量
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潔凈室廠房對潔凈度的高要求，造就了其空調系統的大風量。由空氣動力學的知識可知，動力設備如風機的耗能與其風量的3次方成正比，因此，減少系統風量，對于潔凈室廠房空調系統的節能有著重要的意義。
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凈化空調系統的送風量取決于換氣次數和房間體積。因此，減少系統的送風量可從減少換氣次數和減小潔凈空間兩方面入手。換氣次數的多少取決于潔凈級別和氣流組織。
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（1）氣流組織
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對潔凈室內空氣流動形態和分布進行合理的設計，稱作氣流流型。潔凈室的氣流流型主要分為三類：非單向流、單向流、混合流。
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單向流潔凈室的氣流是從室內的送風一側平穩地流向其相對應的回風一側。因此，能達到較高的潔凈度。但其要求的風量大，能耗也大。非單向流的氣流速度、方向在潔凈室內不同地方不同，用經過高效過濾器處理的潔凈空氣將污染物沖淡稀釋，從而保持室內所需的空氣潔凈度等級。混合流潔凈室是將非單向流型和單向流型在同一潔凈室內組合使用，其特點是： 在需要空氣潔凈度嚴格的部位采用單向流流型，其他則為非單向流流型，為此既滿足了使用要求，也節省了設備投資和運行費用。
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為了實現潔凈室廠房空調系統的節能，應根據廠房內不同地方對潔凈度的不同要求，采用相應的氣流組織方式。可通過CFD模擬等手段，進行科學的氣流組織，可以合理地降低潔凈室平均氣流速度／換氣次數，降低送風量，從而降低系統能耗。
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（2）減小潔凈面積
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縮小潔凈面積：一方面減少了凈化系統的送風量；另一方面還可以減小和控制人員發塵對潔凈區域的影響。把關鍵要求高的潔凈區與周圍要求不嚴的潔凈環境加以物理分割， 即所謂對關鍵潔凈區采用“點”或“線” 的保護而不采用“面”的保護，以減少單向流的潔凈面積。如在安全實驗室、制藥廠及很小規模的生產用戶，常采用非單向流潔凈室內設潔凈工作臺，潔凈工作堋或層流罩等局部單向流潔凈區；而在IC廠，潔凈控制面積一般都比較大， 可以把工藝設備的核心加工區與維護服務及維修區加以物理分割，把關鍵加工區置于層流罩下，由單向流維持和控制很高的潔凈度；而其他區域所要求的潔凈度得以降低。由于核心區的面積相對還是較小，采用這樣的方式可明顯降低系統的總運行費用。
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潔凈隧道就是采用這一理念，根據生產要求把潔凈空間劃分為潔凈級別不同的加工、操作、 搬運、維護等４個區，把潔凈度要求最高的加工區的空間縮小到最低限度，把各種管道和一些輔助設備放在維護區．這樣不僅減少了操作人員發塵對加工區的影響，而且大大減少了潔凈送風量。潔凈隧道的加工區送風面出口速度（下送）一般為0.3～0.4m/s，其換氣次數500—200次/h，而人員操作區斷面風速為0.1—0.2m/s，換氣次數為100---200次/h，與全面垂直單向流潔凈室相比，潔凈隧道的造價和運用費用均節省1/3左右。
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在當前的IC廠房中，當控制線寬小到一定程度，一般都需采用微環境技術，才能滿足非常高的環境要求。所謂的“微環境”實質上是為硅片的機械傳遞和工藝加工的周圍提供一個局部潔凈小室。微環境內不但潔凈度級別能夠達到非常高，而且溫度、相對濕度、氣流速度可以控制在非常嚴格的范圍內。實踐證明，在微環境內，可實現更佳的空氣途徑，更高的空氣質量，更容易的污染控制手段，可達到更嚴格的技術要求和更高的加工質量。
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3 減少新風量
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由于在潔凈室廠房空調系統中，新風負荷占較大比重，因此，減少新風量，對降低潔凈空調系統能耗有著重要意義。
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在一般的空調系統中，夏季和冬季系統采用最小新風量，而在過渡季，系統可采用全新風運行。但對于潔凈室廠房的空調系統，過渡季增大新風量，雖可以減小系統冷熱處理耗能，但卻增大了系統過濾的負擔，因此，不一定會經濟合理，特別是潔凈級別要求高的系統，鑒于我國室外空氣含塵量比較高，不建議在過渡季增大新風的做法。此外，如果過渡季增大新風， 還需要調節相應閥門，帶來運行控制方面的問題。
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在潔凈室廠房空調系統中，新風量的計算與一般空調系統差別不大。即首先要保證潔凈室內工作人員的衛生要求；其次，需要補充系統的排風風量；另外，考慮維持潔凈室的潔凈度免受臨室或外界的影響，潔凈室還要維持一點的壓差值。對于一般的潔凈室內，人員都不多，因此，此時系統新風量主要取決于系統排風量和維持正壓風量。
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要減少系統的新風量，首先要減少系統的排風量。在ＩＣ工廠中，由于半導體生產中大量使用酸、堿及有機溶劑，會產生各種有毒有害氣體。對此，應盡可能采用局部排風，用最少的風量，控制有害氣體的擴散，并將其排至室外。根據有害氣體散發的場所結構和性質，在不妨礙工藝操作的情況下，可加設各種相應的排氣罩。同時為減少有害氣體在的擴散，排風口應盡量靠近有害氣體散發源。
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維持正壓風量與潔凈室的控制壓差和潔凈室的密封性有關。壓差主要由潔凈室的性質和規范決定，因此，要減少維持正壓風量，主要應增加系統的密封性。由于潔凈系統比一般空調系統維持的正壓要高，因而，對系統的嚴密性有更高要求。
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4 系統風量控制
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從節能的角度分析，潔凈室的送風量應該是保持潔凈室的溫度、濕度和潔凈度的最小送風量。 而由于多種原因，系統中的風量常是變化的。
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在空調系統運行過程中，隨著時間的變化，初效、中效、高效過濾器的阻力是不斷變化的。 如不進行調節，系統的送風量也是在不斷地變化，因此，調節送風量使之維持在上述最小送風量，是經濟和合理的節能措施。
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潔凈室廠房面積一般都比較大，為6000一18000㎡，這主要是由于電子產品更新非常快，隨之生產工藝、設備也相對更新較快。采用大空間的大跨度的車間廠房，利于工藝設備的更新改造。而在大的潔凈室廠房中，有時會安排幾條生產線同時生產。現代化零庫存的生產方式， 又要求生產緊隨著市場進行。這就會造成有時幾條生產線不同時開，或者某些車間不開的情況。此時，系統送風量可適當或者相應的減小。
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潔凈室廠房在設計時，一般只有一種運行方式，無值班保持正壓與生產狀態的區別，而潔凈室廠房工作環境的特殊性，要求非工作狀態其潔凈度也要相對維持。風機系統在非生產時間內也照常運行，不僅消耗能源，且機械磨損大，嚴重影響設備的壽命。實際上，當潔凈室無人上班時，其主要的污染物來源也沒有了，排風系統只需要以較小的排風量排出殘留的有害物即可，因此，送風量也可以相應的減少，只要能保持潔凈室的正壓即可。另外，即使是在生產狀態下，排風系統的使用情況也不盡相同，因此，按照排風系統的實時情況及時調整送風量， 就可非常有效地降低通風空調系統的能耗。
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系統的風量是變化的，這就要求有相應的控制系統，及時跟蹤過濾器阻力的變化，并可根據生產情況，調節系統送風量?？稍谙到y排風管、送風管處設風量傳感變送器，并與監測正壓的微壓差變送器相配合，將檢測信號送至系統的PLC等控制器，后利用已趨于成熟的變頻技術，調節風機等設備的轉速，實現系統風量的最優化運行。同時可利用可編程控制器設定時間，實現延時、自動切換等工況。
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當然，正如前面所說的，潔凈室廠房空調系統的節能還包括很多其他方面。本文這里只是根據潔凈室廠房空調系統的特殊性，討論其相應的節能措施。其他與一般空調系統節能相同的方面， 相關文章已經有較多的探討，本文就不再贅述。