一、全新風的凈化空調送風方案

全新風凈化空調送風方案用于特殊的、不允許回風的潔凈室的送風方案中。

二、一次回風的凈化空調送風方案

一次回風的送風方案多用在潔凈室內的發熱量或產濕量很大，消除室內余熱或余濕的送風大于、等于或近于凈化送風量的低潔凈度等級的非單向流潔凈室中。

三、一、二次回風的凈化空調送風方案

為了節能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消現象，在潔凈室凈化送風量大于其消除余熱、余濕的空調送風量時，盡量采用一、二次回風方案，將二次混合點設計在系統送風點上，該訪案是比較節能、經濟的送風方案。

四、新風機組(MAU)+循環機組(RAU)的凈化空調送風方案

此方案多于多個潔凈室，其潔凈度、溫濕度要求不同，室內的產熱量和產濕也不相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度、溫濕度及其精度的要求，就要設置多個循環機組，循環機組的送風量是凈化送風量，并且在機組內設置必要的熱、濕處理設備，用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調節。由于循環機組設在潔凈室的頂棚內，循環機組的送風余壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短小，但是要注意循環機組的凝結水排放問題，這種方案的問題往往都出在凝結水排放的處理上；此方案的新風機組設在空調機房內，這些潔凈室所需的新風全部由新風機組(MAU)進行凈化和熱濕的集中處理，然后分配到每一個循環機組內與其回風混合。新風機組的新風量不僅僅要補充各潔凈室的排風，還要保證每個潔凈室的正壓，新風機組的熱濕處理盡量到某潔凈室空氣的機械露點上。如果新風熱濕處理點低于潔凈室的機械露點，新風不僅承擔新風本身的濕負荷，而且還將潔凈室的濕負荷也消除掉，此時循環機組內的表冷器可為干式表冷器。

五、空調機組(AHU) +風機過濾器機組(FFU)的凈化空調送風方案

此方案中凈化空調系統的全部熱、負荷(潔凈室內產生的熱、負荷及新風的熱、負荷)全部由設在空調機房內的空調機組來負擔。此時空調機組的送風量是消除本系統余熱、余濕的空調送風量(其中包括全部新風和部分回風，但遠遠小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風量)，它應能確保潔凈室內的溫度和相對濕度的恒定。而該潔凈室的潔凈度由設在潔凈室頂棚上的風機過濾器機組(FFU)將凈化送風量就地循環過濾來保證。此方案中應該注意的是，FFU運行過程中所產生的熱量也應由空調機組來承擔。此方案更適合用于在大面積非單向流潔凈室內有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。

六、新風機組(MAU)+循環機組(RAU) +風機過濾器單元(FFU)凈化空調送風方案當多個潔凈室中有若干個1級、10級、100級等高凈化級別的垂直單向流潔凈室時，為了減少循環機組(RAU)的負擔和送、回風管道的斷面，此時循環機組僅解決該單向流潔凈室的空調送風量，以保證潔凈室的溫度、相對濕度和潔凈室的正壓，而90%以上的絕大部分送風量由設在潔凈室頂棚上的FFU來負擔，以保證潔凈室的高潔凈度級別。

七、新風機組(MAU)+風機過濾器機組(FFU)+干冷盤管(DC)的凈化空調送風方案此方案是新風機組將新風處理到潔凈室熱濕比線與95%相對濕度線交點以下，新風機組不僅將本身的濕負荷去掉，而且還負擔潔凈室內產生的濕負荷，新風機組要確保潔凈室所需要的相對濕度。而新風機組熱處理不足的部分干冷負荷由設在潔凈室頂棚上(或夾道內)的干表冷器來補充。因干表冷器是設在FFU循環空氣通過的頂棚上或夾道內，因此干表冷所彌補的干冷負荷被循環空氣帶到潔凈室內。由新風機組處理過的新風用管道以能與FFU循環空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風靜壓箱內，FFU布置在潔凈室的頂棚上，與新風混合的循環風經FFU被高效過濾器過濾后送到潔凈室內，以保證潔凈室的潔凈度。FFU 的規格以1200mm×600mm和1200mm×1200mm居多，其斷面風速應為≥0.45m/s，余壓應≥120Pa，噪聲應≤50dB (A)為好。FFU的風機風量應可調，高效過濾器應可更換，干冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力，鋁翅片間距應≥3mm，阻力損失應為30~40Pa，循環風通過干盤管的面風速應<2m/s，盡量為1.5m/s。進入干盤管冷水的進水溫度應高于潔凈室露點溫度2℃，通常稱為中溫冷水，雖然叫干盤管，但在起始運行時還可能有凝結水產生，因此干盤管還應有凝結水滴水盤和排水措施。此方案中潔凈室的相對濕度由新風機組(MAU)來保證，潔凈室的溫度由干冷盤管來保證，潔凈室的潔凈度由FFU來保證。這種MAU加FFU加DC的凈化空調送風方案，目前在我國和外國的微電子(集成電路)工業、光電子(TFT—LCD、LCD、LED等)工業等大面積、高潔凈度等級的潔凈廠房中得以廣泛應用，它具有調節方便，節能顯著，適應工藝的更新換代，大大地節省了非生產面積和非生產空間的優點。且，隨著潔凈技術和潔凈設備的不斷發展和進步，FFU風機的效率不斷提高，耗電不斷降低，整體價格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風方案基本持平，但運行費用大大節省。

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