由于多晶硅產(chǎn)品要求純度高，相應的輸送原料的管道和控制流量的閥門、管道就要求有較高的潔凈度。閥門進廠打壓合格后和安裝前若不進行清洗，閥門內的銹渣和油脂單靠系統(tǒng)物料的沖刷是無法達到潔凈要求的；如不干燥，系統(tǒng)內哪怕是一點水都會造成原料分解、設備腐蝕和系統(tǒng)堵塞。因此，閥門的清洗和干燥是必要的。閥門清洗采用清洗劑為主脫脂劑進行清洗，清洗和干燥的工藝按照以下步驟進行：

水沖洗→脫脂→純水沖洗→干燥

下面具體介紹各個工藝步驟的要求：

一、水沖洗

用清水對閥門/管道內外表面進行沖洗。水沖洗的目的是除去被清洗件內外表面的污物。

二、脫脂施工及檢驗標準

（一）預處理

(1)明顯的灰塵、雜質用溶劑除去。

(2)明顯的防銹油脂可進行預先清除油脂再進行脫脂。

(3)油脂很重時可用低壓蒸汽吹洗后，再脫脂。

（二）脫脂

(1)脫脂方法：采用小件浸泡，小管灌注，大管噴淋，設備擦試或噴淋。

(2)脫脂劑：四氯化碳(CS)、丙酮(SS )

(3)脫脂溫度：室溫。

(4)脫脂具體作法：

A.管材的脫脂可以在預制前進行，也可以在預制后進行。預制前脫脂必須保證以后不再被污染，同時保存完好。

B.未預制的管子可在經(jīng)脫脂后，控凈溶劑，自然風干，用塑料布封好兩端并包好紗布，做好記號。

C.預制好的管子中加入四氯化碳(丙酮)。注入量不少于管子容量的一半轉動管子，使管子內部能充分浸漬四氯化碳。按上述方法反復清理直到合格。注意：注入四氯化碳(丙酮)后一定要用塞子塞住管子兩端。

D.脫脂后的管子及附件，如果二次污染必須進行再次脫脂，按上述要求脫脂合格為止。

E.閥件脫脂時,應在拆卸清理后，浸沒在裝有溶劑的密閉容器內。浸泡1~1.5小時，然后取出干燥。直到?jīng)]有氣味為止。金屬墊片、螺栓、法蘭等，也采用同樣的方法脫脂。不便浸泡的殼體可以用浸有清洗液的凈布(不掉纖維)擦拭干凈到合格為止。

F.在管道上管件的填料函中填料(石棉盤根)與石棉墊片的脫脂方法：把這些填料、墊片在300℃的溫度下焙燒2~3分鐘(不得用有煙的火焰)焙燒后涂以石墨粉。對于已浸漬涂料的石棉填料成品，應具有適用范圍的合格證，否則必須化驗合格后方能使用。

G.非金屬墊片在用四氯化碳脫脂時，把墊片放在裝有溶劑的容器內，放置1.5~2小時后將墊片用鐵絲(脫脂過的)分一串掛在室外通.風良好的地方，干燥時間不宜少于24小時。

H.其它管件脫脂，小件浸泡，大件同管材脫脂方法。

I.所有脫脂后的管材、管件閥門等應妥當保管，防止被污染。特別注意不要用手直接觸摸與氧氣接觸的表面，因為汗?jié)n可能殘留在上面而而造成污染。

J.設備脫脂：

①整體到貨設計規(guī)定由制造廠脫脂的設備，必須具有制造廠的脫脂合格證書。

②具有制造廠脫脂合格證且封閉、保管良好的設備，在安裝時可不再進行脫脂，但必須在安裝前經(jīng)有關人員檢查確認。若發(fā)現(xiàn)污染或被油脂污染則應重新脫脂。

③需要脫脂時，噴淋時內部逐根接管口噴淋。采用擦拭法時要選擇清潔織物，浸蘸脫脂劑擦洗。采用噴淋法時，噴頭能上下移動，使溶劑均勻地噴淋到容器的全部需脫脂的表面。

④經(jīng)脫脂合格的設備須在各管口用脫脂合格的螺栓、墊片、盲板封閉，需防銹的應采取防銹紙等防銹措施避免被污染和銹蝕。

⑤設備在脫脂過程中的拆卸、吊放、吹除等操作，必須遵守設備的安裝、拆卸的有關規(guī)定；起重施工應執(zhí)行相關的要求。

K.脫脂施工中，必須嚴格執(zhí)行交接班和原始記錄制度。

（三）脫脂檢驗標準

1.凡經(jīng)脫脂的設備、管材及附件都要進行外觀檢查，不得有任何外來物或殘余物粘在上面。

2.檢驗方法

用波長3200~3800埃米的紫外線光檢查脫脂件表面，在10cm²范圍內直徑小于1mm的點不多于5個為合格。或用清潔干燥的白色濾紙擦拭脫脂件表面，紙上無油脂痕跡為合格。

3.對檢驗不合格的脫脂件，必須用上述脫脂方法重新脫脂。

4.所有脫脂件必須經(jīng)有關人員檢驗合格后，再進行下一道工序施工，未經(jīng)簽字認可的，視為脫脂不合格，必須重新脫脂。

三、純水沖洗

浸泡清洗結束后，取出被清洗件，用純水進行沖洗，去除殘留在閥門內外表面上的堿液和洗落的污物。純水的油含量為零，電導率≤15μs/cm，氯離子≤5mg/L。

四、干燥

用無油干燥空氣或氮氣對閥門進行吹掃干燥。

五、保管與存放

1.經(jīng)檢驗脫脂合格的設備、管材、管件應由專人及時封閉。設備用脫脂合格的螺栓、墊片、盲板封閉。

2.管材、管件用塑料布封閉，并包以無油、清潔、干燥的紗布。

3.脫脂合格的設備、管材及附件必須注明標志，同時由專人保管、發(fā)放。發(fā)放時檢查封閉端并作記錄，發(fā)現(xiàn)問題及時匯報，及時處理。

六、管道安裝施工注意事項

1.安裝施工的程序與注意事項和其它要求詳見本工程管道施工方案。

2.脫脂管道在對口準備時，應在管道中裝一個由無油硬紙板等物制成的管口隔板，以防止金屬屑和外來物進入管道內。

上述接口準備工作完成后，卸下紙板，并且用浸有CCl₄的凈布仔細擦洗污染處，按規(guī)定檢驗合格后，再進行定位焊。

3.脫脂管線必須進行氬弧焊打底。

4.管道施工時要隨時檢查管材及管件等是否被污染，若發(fā)現(xiàn)有被污染的現(xiàn)象應立即停止施工，查明原因，進行脫脂合格后，才能繼續(xù)進行安裝工作。

5.與脫脂后的設備相連接的管道及附件必須進行脫脂，合格后再進行安裝。

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