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一、高純氣體 、特種氣體管道及其閥門附件等的材質應符合工程設計文件的要求。采用低碳不銹鋼管時，其安裝施工應符合規范的規定。

二、管路系統的試運轉應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。

三、高純氣體、特種氣體供應設施安裝前，應按工程設計文件和產品說明書的要求，檢查設備及填充的純化材料、閥門和管件的完整性、密封性，并應做檢查記錄。

檢查數量：按氣體品種、分系統全數檢查。

檢驗方法：觀察檢查、尺量。

四、純化設備、特氣柜的搬運、就位應符合下列規定：

1搬入潔凈室(區)前應進行清潔，符合要求后應從規定的設備搬入口運入；

2整體設備搬運時，應按設備的構造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運輸，不得倒置，并應可靠固定；

3設備就位時，應按工程設計文件和產品說明書要求，做好接管、接線定位；

4就位后，水、電接口應按工程設計文件要求連接；

5氣體管道接口應在分系統的氣體輸送管道安裝試運轉合格后再連接。

檢查數量：按氣體品種、分系統全數檢查。

檢驗方法：觀察檢查、尺量。

五、高純氣體、特種氣體系統的閥門箱、吹掃盤的安裝應符合下列規定：

1應檢查箱體及箱內閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等，并應做好記錄；

2安裝位置應按工程設計文件、產品說明書要求進行，并應檢查接管、接線方位的正確性；

3氣體管道接口應在所在系統試運轉合格后再連接。

檢查數量：按氣體品種、分系統全數檢查。

檢驗方法：觀察檢查、尺量。

六、高純氣體、特種氣體設施施工安裝試運轉的純度測試應符合下列規定：

1純度測試介質，宜采用工作氣體進行。

2測試氣體的壓力，宜與輸送介質的設計壓力相同。

3測試氣體的檢測取樣口或排氣接口，應設在供氣系統中要求氣體純度及其雜質含量最嚴格且距離最長的用氣設備處。

4純度測試過程，取樣時間的間隔宜為4h；氣體樣品應采用與輸送介質純度及允許雜質含量相應的精度等級的儀器進行分析。

5當測試氣體進、出口的純度及其氧痕量、水痕量等雜質含量達到一致時，應認為純度測試合格。

檢查數量：按系統全數檢查。

檢驗方法：儀器檢查。

七、管路系統的試驗應符合下列規定：

1高純氣體、特種氣體供應設施的強度試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及試驗壓力均應按工程設計文件要求執行。

2試驗氣體宜采用無油干燥壓縮空氣或純氮氣或純氦氣；試驗氣體壓力按規定逐步升至系統強度試驗壓力后，應保持10min，然后降壓至氣密性試驗壓力，檢查接口、焊縫，應以不漏為合格。

3氣密性試驗合格后，進行泄漏量試驗，試驗氣體為純氮或無油干燥壓縮空氣時，系統應以設計壓力保持24h，?檢查泄漏率不超過0. 5%為合格。采用氦氣為試驗氣體時，系統應以設計壓力保持1h，檢查泄漏率不應超過0.5%為合格。不合格時，應檢查原因并進行完善后，再進行泄漏量試驗，直至合格為止。

4管路系統的試驗，不應包含純化設備、特氣柜和閥門箱等。

檢查數量：按系統全數檢查。

檢驗方法：觀察檢查、儀表檢查。

八、管路吹掃應符合 下列規定；

1應按氣體品種、工作參數分系統分別進行吹掃。

2管路系統應采用0.3MPa~0.5MPa的無油干燥壓縮空氣或純氮進行吹掃，吹掃氣體應設置過濾精度嚴于0.3μm的氣體過濾器去除微粒；對輸送可燃氣體的管路宜采用純氮吹掃。

3在管路系統吹掃氣體排出口設靶檢查，應以靶上未見微粒為合格；對輸送可燃氣體的管路系統，應以排出口吹掃氣體中含氧量小于1%為合格。

檢查數量：按系統全數檢查。

檢驗方法：觀察檢查、儀表檢查。

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