一、二次配管配線

（1）生產設備應在找正、調平并經檢驗合格后，再進行設備所需水、電、氣、排風等二次配管配線施工。工藝設備二次配管配線除應符合下列規定：

1二次配管配線的主材應與生產工藝設備一致，各種墊料、填料等輔材應與相關配管配線的工程設計一致，并應采用密封性能好且不產塵的材料。

2二次配管預制作業應在專設的防塵、防靜電的潔凈工作小室內進行，加工件應經潔凈處理后密封搬入潔凈室(區)內。

3碳鋼支、吊架應采用鍍鋅材料，切割端面亦應做防銹處理，安裝應牢固可靠；不銹鋼管與碳鋼支架、管卡之間應分別設隔離墊和隔離套管，隔離墊宜用軟質聚四氟乙烯板，套管宜用聚乙烯軟管。

4上技術夾層引下的管線，宜從增設在生產工藝設備附近的管線柱內敷設。管線柱高度宜高于房間吊頂，柱壁可采用裝飾用不銹鋼管或用型鋼作框架，框架外貼裝飾應用不銹鋼面板；柱壁上可安裝電氣插座、開關箱及閥門等。

（2）二次配管配線的施工安裝應避免在潔凈室(區)內進行鋸、銼、鉆、鑿等作業，個別情況不可避免時，應在產塵處采用真空吸塵接口或吸塵器不間斷地吸除塵粒。

（3）二次配管完成后，不宜進行沖洗或吹洗、嚴密性試驗。若需要時，應根據生產設備和廠房內配管連接狀況制訂安全技術措施，并應經批準后再實施。

二、設備安裝

（1）生產工藝設備安裝施工條件宜符合下列規定：

1安裝生產工藝設備前，潔凈廠房凈化空調系統應已連續正常運行48h，照明系統應已正常工作，且現場應有便捷電源供應；

2大型、特殊要求的生產設備，應按設計要求在凈化空調系統安裝前就位，可按規范進行；

3潔凈室(包括風淋室)應已啟用，并應建立潔凈廠房設備安裝管理操作規程。

（2）潔凈室(區)內生產設備安裝施工用輔助材料應符合下列規定：

1應為無塵、無銹、無油脂且在使用過程中不產塵的清潔材料；

2應以潔凈、無塵的板材、薄膜等材料保護潔凈室(區)的建筑裝飾表面；

3設備墊板應按設計或設備技術文件要求制作，如無要求時可用不銹鋼板或塑料板；

4制作獨立基礎和地板加固用的碳鋼型材應經防腐處理，表面應平整、光滑；

5用于嵌縫的彈性密封材料應有注明成分、品種、出廠日期、儲存有效期和施工方法的說明書及產品合格證書。

（3）潔凈室(區)使用的機具不得搬至非潔凈室(區)使用，非潔凈室(區)使用機具不得搬至潔凈室(區)使用，潔凈區使用機具應符合下列規定：

1機具外露部分不應產塵或采取防止塵埃污染環境的措施；

2常用機具在搬入潔凈區前應在氣閘室進行清潔處理，應達到無油、無垢、無塵、無銹的要求，并應經檢查合格貼上“潔凈”或“潔凈區專用”標識后搬入。

（4）設備特殊基礎應符合下列規定：

1潔凈室地面為活動地板時，基礎宜設置在下技術夾層地坪上或混凝土多孔板上；

2鋼制框架結構的獨立基礎應采用鍍鋅材料或不銹鋼材料制作，外露表面應平整、光滑；

3安裝基礎所需拆除的活動地板，經手持電鋸切割后的鋼結構應予加固，其承載能力不應低于原承載能力。

（5）墻板、吊頂和活動地板開洞應符合下列規定：

1開洞作業不得劃傷或污染需保留的墻板、吊頂板表面，活動地板開口后不能及時安裝基礎時，應設安全護欄并設危險標識；

2生產設備安裝后，洞口四周間隙應進行密封處理，并應做到設備與密封組件為柔性接觸；密封組件與壁板的連接應緊密、牢固；工作間一側的密封面應平整、光滑。

（6）拆除包裝應符合下列規定：

1設備開箱拆除外包裝應在設備搬入平臺上進行，并不得破壞內包裝；

2設備的內包裝應在氣閘室前拆除，拆除前應先用吸塵器、潔凈布清除內包裝外表面的塵粒。

（7）生產設備從搬入平臺經搬入口、氣閘室至潔凈室(區)的搬運應符合下列規定：

1對搬入設備的最大件無法通過預留的門洞時，可保護性拆除門或潔凈室隔斷，應在設備搬入后再恢復到原有狀態；

2沿搬運路線的門框、墻角等處應設保護措施；

3在活動地板上搬運設備時，應敷設軟塑料保護層和不銹鋼板或鋁合金板；

4當搬運重量超過活動地板的承載能力時，應根據現場實際情況采取加固措施，并應采用不產塵的材料。

（8）潔凈室(區)內搬運生產工藝設備，宜采用搬運車或氣墊搬運裝置。搬運時應控制其行進速度不得大于1m/s。

（9）設備就位安裝應符合下列規定：

1在自流坪地面安裝設備時，應有地面保護措施；

2在活動地板上吊裝設備時，應核對活動地板的允許荷載，當允許荷載不能滿足起吊荷重時，應對活動地板進行加固；

3設備就位安裝需開孔時，應采用真空吸塵接口或吸塵器吸除所產生的塵粒，直至吸盡孔內積存的塵粒。

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