一、疏散方面的要求
各類電子生產(chǎn)廠房的最大疏散距離的合理確定是廠房內(nèi)一旦出現(xiàn)火情時，操作人員安全疏散到安全地帶的重要保證。安全疏散距離的確定與人員疏散速度和允許的疏散時間有關(guān)，潔凈生產(chǎn)區(qū)寬約130m，建筑高度約26.5m，生產(chǎn)區(qū)內(nèi)任一點至安全出口的距離可能超過100m，超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》的規(guī)定。準(zhǔn)確核實人員密度是分析人員安全疏散的基礎(chǔ)，不同使用功能的廠房以及一棟廠房內(nèi)不同用途的區(qū)域，其人員密度是不同的。
二、電氣化方面的要求
1.電源的可靠。消防電源的供電負(fù)荷等級，應(yīng)處于最高供電等級。潔凈廠房的線路均在技術(shù)夾層內(nèi)明敷，通常傳輸線路與消防控制、通信、警報線路分管敷設(shè)，均應(yīng)穿入金屬管，并且后者的金屬管外壁還應(yīng)涂防火涂料。
2.警報裝置。火災(zāi)廣播及聲光警報裝置，對火災(zāi)時引導(dǎo)人員正確疏散、指揮救火員及時準(zhǔn)確進(jìn)入火場滅火起著非常重要作用。火災(zāi)時的疏散路線與日常工作時的凈化路線不同，應(yīng)重視它們與事故照明、疏散指示標(biāo)志的配合設(shè)置。
3.照明有保障。設(shè)計一個實用可靠的火災(zāi)應(yīng)急照明供電方案至關(guān)重要。消防聯(lián)動控制要求：控制備用應(yīng)急燈和疏散指示燈點亮。潔凈廠房應(yīng)急照明和疏散指示燈供電方案常采用一路市電加分散式自帶蓄電池的應(yīng)急燈。
三、防排煙系統(tǒng)的要求
電子工廠潔凈廠房有三種基本類型：單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室，在各類潔凈廠房的設(shè)計建造中，其共同的特點是管線多，由于送風(fēng)量大，一般風(fēng)管尺寸較大，即使對于非單向流潔凈室送風(fēng)量相對較小，但因一般只有上技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，所以管線布置仍然難度很大。歸納起來電子工廠潔凈廠房中防排煙方式有：(1)潔凈生產(chǎn)區(qū)設(shè)機(jī)械排煙系統(tǒng)；(2)潔凈廠房疏散走廊設(shè)機(jī)械排煙系統(tǒng)；(3)在潔凈生產(chǎn)區(qū)內(nèi)分區(qū)設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)，有的與生產(chǎn)工藝設(shè)備排氣系統(tǒng)共用；(4)在下技術(shù)夾層設(shè)機(jī)械排煙系統(tǒng)等。在具體實施中，應(yīng)具體情況區(qū)別對待。如多個潔凈室共用潔凈疏散走廊，且潔凈室內(nèi)未設(shè)置機(jī)械排煙裝置。
四、滅火設(shè)備的合理應(yīng)用
要采用合理的滅火劑。惰性氣體和七氟丙烷、CO2滅火劑相對來講是安全的，當(dāng)區(qū)域內(nèi)有人員滯留時，探測系統(tǒng)應(yīng)能提供充分的警報并能延遲噴放滅火系統(tǒng)。惰性氣體滅火系統(tǒng)的工作原理是將環(huán)培中氧氣含量降至15%以下，在此環(huán)境條件下燃燒不會發(fā)生。在該系統(tǒng)噴放1分鐘后，氧氣能減少到使火災(zāi)停止發(fā)展。
傳統(tǒng)噴水滅火的改進(jìn)。高壓細(xì)水霧滅火系統(tǒng)又稱超細(xì)水霧滅火系統(tǒng)，它是由高壓水通過殊噴嘴產(chǎn)生的細(xì)水霧來滅火的自動消防給水系統(tǒng)。滅火機(jī)理主要是冷卻效應(yīng)、蜜效應(yīng)、隔離凈化效應(yīng)冷卻效應(yīng)：高壓水經(jīng)霧化，大大增加了作用面和熱交換面積，具有良好的吸熱效果，可快速冷卻焰表面和降低火場溫度。
為適應(yīng)微電子潔凈廠房的大空間、大體量和嚴(yán)格的潔爭度要求(送風(fēng)速度高)，潔凈廠房內(nèi)宜采用超靈敏度探測器即早期警探測器以保證探測效果。這種探測器具有高靈敏度(是一般探測器百倍以上)、早期報警(可在火災(zāi)形成前數(shù)小時報警)，適用于大空間高氣流速度等優(yōu)點。
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