一、潔凈廠房建筑設計要點

應將潔凈區與非潔凈區在功能上劃分明確，有各自的出入口及交通線路。宜將潔凈室按潔凈度等級分級集中設置。潔凈度要求高的潔凈室應布置在人流量最少處。人流進入潔凈區時應由低潔凈度流向高潔凈度區；避免不同等級潔凈室相互干擾。

要求潔凈區平面布置合理、緊湊。潔凈室平面形狀簡單，空間體形簡潔，使潔凈室面積和體積為最少。

人員和物料出入口應分開設置，各自緊貼潔凈區布置。內部人流、貨流的污、凈交通線路應避免往返交叉重疊。潔凈區各種管線需隱蔽，平剖面設計時應按各種管線截面、走向、標高等相應考慮技術夾道、技術豎井、技術夾層和輕型吊頂的位置。外(回)廊可使潔凈室取得間接的天然光線、緩沖室外的灰塵及溫濕度對潔凈室的環境影響，既可作技術夾道又是參觀走廊。

多層潔凈廠房的物料垂直運輸當采用貨梯時，電梯間應在潔凈區之外，電梯間的底層宜設氣閘，在樓層與潔凈區之間應設物料凈化處理室。垂直運輸亦可通過內部專用凈化樓梯進行。

為工藝調整創造條件、管線走向簡便和加快施工進度，潔凈區宜采用輕質隔墻或裝配式輕質墻板。

二、潔凈廠房的平面布局

在潔凈廠房設計中，有一定潔凈度要求的潔凈室，根據本身工藝流程的安排，它的輔助機房以及連接兩者間的大量工業管線的合理安排(潔凈廠房的平面布置及剖面形式)是影響潔凈廠房設計方案是否適用、經濟的重要環節。潔凈室的建筑平面布局和凈化空調系統有密切關系，凈化空調系統既要服從建筑總體布局，建筑平面布局也要符合凈化空調系統的原則，才能充分發揮相關功能的作用。

潔凈廠房設計時應考慮到建筑平面尺寸與剖面高度變化的靈活性，走線接管的靈活性，凈化級別的靈活性。通常，采用大跨度的主體結構、大通間的平面布置、輕質干作業的頂棚和隔墻以及盡量利用技術夾層或技術夾道布置管線、生產輔助設施，都會為工藝的發展和廠房的充分利用創造條件。

潔凈室一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三部分。潔凈室的平面布置可以有以下幾種方式：

外廊環繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設備用，有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗；

內廊式：潔凈室設在外圍，而走廊設在內部，這種走廊的潔凈度級別--般都較高，甚至和潔凈室同級；

兩端式：潔凈區設在一邊，另一邊設準潔凈和輔助用房；

核心式：為了節約用地、縮短管線，可以潔凈區為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候對潔凈區的影響，減少了冷熱能耗，利于節能。

工作間與技術夾道相間布置的方式，使平面布置成梳狀排列，對生產的發展具有更大的靈活性和適應性。根據工藝要求工作間內的潔凈系統可設計為全室層流、局部層流罩或潔凈隧道。技術夾層兼作輔助設備間或回風通道等，其作用為：成為循環空氣或回風通道；布置各種管道或終端凈化設備及工藝輔助設備；還可以作為生產輔助設備的維修場所。工作間寬度約4米，技術夾道寬度約為1.2~2.2 米。這種平面技術夾道布置方式多被用于實際的集成電路生產廠房。

這種平面技術夾道布置方式具有以下特點：

公用管道與生產間的聯系比較方便：由于工作間與技術夾道是一墻之隔，在隔墻下部又有高400mm的通長回風通道，便于水、電、氣和其它公用管道與生產間的連系。比技術夾層上、下層之間的連系方便很多。又由于輕質隔墻可用輕鋼骨架，使管道及一些輔助設備的安裝非常方便。當工藝調整生產線時相對容易。

管道及輔助設備的安裝及維修比較方便：由于技術夾道處于高潔凈區域的下風側，公用設施及輔助工藝設備調整及維修時不會污染高潔凈工藝區。因此，可不停產進行調整及維修工作，方便了生產也提高了經濟效益。

充分發揮了各不同級別潔凈區的作用：技術夾道是回風的下風側，布置的是對潔凈度要求不高的工藝設備和輔助設備，如真空泵，控制用計算機等，要求最高的潔凈區則布置在較小的層流潔凈室內或潔凈隧道內，這樣可使建設費用運轉費用降低。

節省建筑造價：由于工作間寬度為4米，既滿足工藝生產的一般要求，又有可能在設計垂直層流潔凈室時采用側墻下部回風，避免采用地面回風的負責形式，就有可能大大節省建筑造價。

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