一、電子工廠生產工藝對受控環境的要求

電子工廠如大規模集成電路(LSI)、超大規模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠；液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發光二極管(LED)、有機電致發光顯示器(OLED)、高分子有機電致發光顯示器(PLED) 等光電子工廠都離不開潔凈的生產環境。生產所要求的環境不僅僅有：建筑圍護、結構、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環境。例如：建筑的形式和層高、結構的承重、圍護結構的裝修材料；環境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等。總的來說，電子工廠生產工藝對環境的要求可用大、凈、精、純、嚴五個字來形容。

●大：生產工藝要求潔凈室的面積越來越大。

●凈：電子工廠，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD) 前工序的潔凈室對環境潔凈度的要求越來越凈。

●精：電子工廠生產工藝對環境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越精。

●純：大規模集成電路前工序對生產用的高純水、高純氣體以及高純溶劑的純度要求越來越純。

●嚴：電子工業生產不僅對環境的潔凈度，溫、濕度有嚴格的要求，同時對環境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴格的要求。尤其微電子生產，對環境的分子級污染提出了新的嚴格的要求。分子污染是指環境空氣中要嚴格控制例如鈉(Na)元素、碳(CO_x)元素、硫(SO_x)元素、(NO_x) 元素等對半導體工藝有害的元素。因此在處理空氣時還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學過濾器來吸附新風中的有害分子成份。

二、電子工廠高級別潔凈室多采用混合流潔凈室

為了降低潔凈室的建造初投資和運行能耗，電子工廠的高級別潔凈室一般把ISO1級~ISO5級這樣高凈化級別的垂直單向流用在工藝生產最重要、最關鍵的部位，用大面積的非單向流(ISO 6級~ISO8級)替代大面積的單向流，也就是把垂直單向流與非單向流組合在一個潔凈室內，構成混合流潔凈室。混合流潔凈室的凈化空調系統一般采用新風機組(MAU)加風機過濾器機組(FFU) 加干冷盤管(DC)的送風方案。當前國內外微電子、光電子等大面積的生產廠房廣泛采用的混合潔凈室，具有調節方便、節能顯著、靈活性強，適應電子工業工藝的更新換代，又能節能非生產面積和非生產空間等優點，是最佳的空氣處理方案和最優秀的送風系統。

●方案中的新風機組(MAU)有五大任務：

(1)新風機組要有維持潔凈室內的正壓和補充工藝設備排風的足夠新鮮空氣量，以防止外面污染空氣的滲入。一般情況新風量應該等于潔凈室的排風量加上維持室內正壓的滲漏風量之和。

(2)新風機組要能確保潔凈室內嚴格要求的相對濕度。因此夏季新風機組要有足夠的降溫去濕能力，在冬季還要求一定的加濕手段。

(3)新風機組內要設置多級過濾器(粗效、中效、高效過濾器)以保護FFU終端的超高效過濾器。

(4)新風機組要能吸收和吸附室外大氣內中的有害氣體成份，以消除新風中的分子污染。為此，新風機組內還應設置淋水室以吸收N、S、等有害的元素。淋水室有一級淋水和兩級淋水(一級淋自來水、二級淋純凈水)，同時還要設置化學過濾器(活性炭過濾器)用以吸附新風中的有害分子成份。

(5)在黃河以北，尤其是我國的東北地區，在冬季室外空氣溫度在零下十幾度或幾十度。因此，新風機組在北方需要考慮防凍預熱的措施。

三、電子工廠生產工藝對高級別潔凈室的適應性和靈活性的要求非常強

集成電路等微電子的生產工藝發展規律告訴我們，每隔2~3年生產工藝發展就要上一個臺階，其芯片的集成度就要增加4倍，特征尺寸(線寬)就要縮小30%；而繼微電子之后的光電子生產工藝如薄膜液晶顯示器(TFT-LCD) 發展速度比微電子還要快，一般規律是每隔1~2年就要更新一代。在潔凈室設計和建造的全過程中，自始至終都要考慮到如何給電子生產工藝的發展提供更加靈性生產環境。

四、電子工廠 高級別潔凈室建造時要特別要強調安全性和可靠性

建造高級別潔凈室需要巨額的初投資，使用高級別潔凈室時還要付出昂貴的運行費用，其目的就是為了生產出高質量、高可靠、高成品率的電子產品。為此，設計和建造潔凈室時要把高可靠性、高安全性放在第一位。即要保證電子工業生產工藝所要求的溫度、濕度、潔凈度、風速、壓力、噪聲、照度以及靜電、微振等所有受控環境參數的可靠、穩定。同時，更要從安全的角度上如：結構的承重、防火、防爆、防毒方面確保人員的生命和財產的安全。要遵照“以人為本”的方針，把人員生命和財產的安全作為潔凈室建造的頭等大事來抓。

五、電子工業中的微電子和光電子工藝的高科技產業，同時又是高投入、高能耗、高污染的產業，生產過程排放的廢水、廢氣都含有大量的酸、堿、有機、重金屬等有毒有害物質，這些排放物對周圍環境會造成嚴重的污染。從環保的角度要對排放的廢水、廢氣和廢物要進行嚴格的治理，使之處理后都能達到國家和地方的環保指標才能排放。這也是潔凈室建造中非常重要的一件大事。

總之，電子工廠高級別的潔凈室的設計和建造一定要了解其建造的特點，解決其中的各個課題才能建造出高質量、高安全、高可靠、省投資、省運用費，而且確保生產工藝要求的各種環境參數的潔凈室。

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