IC 生產由于其工藝加工線寬極小，所以對溫濕度的精度要求很高，通常溫度精度為土0.3~±0.5℃，相對濕度精度為±2%~±3%。該類廠房潔凈室一般采用新風集中處理加FFU系統，在下夾層或.上靜壓箱內設干表冷器。潔凈室內的相對濕度由新風機組保證，溫度由干表冷器保證。

一、新風處理及相對濕度保證

新風處理機組中設置初、中、高效三級過濾，以去除室外空氣中的灰塵粒子，設高效過濾器很有必要，可以延長潔凈室頂部FFU內ULPA過濾器的使用壽命；設置化學過濾器主要是去除室外空氣中對IC生產有影響的雜質氣體，根據工廠所在地的室外空氣品質設置相應的化學過濾器，化學過濾器后通常需設中效過濾器以去除化學過濾器本身的產塵；通過設在新風處理機組內的兩級表冷、兩級加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風處理機組出口的干球溫度及露點溫度全年基本恒定，而機組出口的露點溫度還應根據其對應送風區域內的相對濕度進行連續的重新整定，以保證室內的相對濕度。這里不以房間內的相對濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內的相對濕度連續的重新整定機組出口的露點溫度，再由該露點溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時的濕度控制。

由于外網蒸汽中含有對IC生產有影響的雜質，新風處理機組的加濕應采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設在表冷器前，這樣可以使新風處理機組有提高相對濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級純水(一級RO后)代替潔凈蒸汽加濕器，這是一舉兩得的好辦法，因為噴淋純水既可以達到加濕的目的，又可以去除空氣中對IC生產有影響的雜質氣體。新風處理機組還應保證潔凈室內的正壓，所以新風機組內的風機應配置變頻裝置，以潔凈室內的正壓值控制風機轉速。新風集中處理有諸多優點，但在寒冷地區使用時則特別要注意盤管的防凍問題。另外因IC生產對環境的可靠性有極高的要求，新風處理機生產對環境的可靠性有極高的要求，新風處理機組必須設一臺備用機組。

二、循環風處理及溫度保證

IC廠房潔凈室通常采用FFU系統，室內空氣經干表冷器冷卻處理后與新風混合，再由設在房間頂部的FFU加壓、過濾后送入房間。還有一種情況是干表冷器設在上夾層，空氣處理過程略有不同，其過程為：新風和回風混合，再經干表冷器冷卻，最后由FFU加壓、過濾后送入潔凈室。干表冷器主要是消除潔凈室內的顯熱負荷，根據潔凈室內的溫度控制對應區域的干表冷器以保證房間的溫度。采用該系統應注意以下幾點：

a)為得到精確的溫濕度控制，應盡量減少Balloom內各區域之間的氣流交叉，所以各區域的干表冷器結構形式、空氣側阻力應盡量一致。

b)考慮室內濕度精度及表冷器空氣側阻力等因素，應確保干表冷器在干工況下工作，干表冷器所用的冷凍水溫度應根據室內濕負荷、室內空氣的露點溫度等因素確定，IC廠房工藝生產設備發濕量很少，考慮干表冷器所用冷凍水本身的溫度控制精度以及其他的安全余量，實際工程中一般冷凍水供水溫度比室內空氣露點溫度高2~3℃，溫差通常取3~5℃，根據室內溫度控制精度確定。干表冷器所用的冷凍水通常以混水方式或換熱方式得到。

c) 干表冷器斷面風速不宜太高，因為過高的風速會使干表冷器空氣側阻力偏大，而由于房間噪聲要求的限制FFU所能提供的機外余壓有限，一般為90Pa，考慮其他風路阻力，干表冷器的空氣側阻力通常控制在40Pa左右。

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