集成電路產業是當今信息技術產業得以高速發展的基礎及源動力，其發展規模和技術水平已經成為衡量一個國家的產業競爭力、綜合國力的重要標志之一。相比一般的工業廠房項目，集成電路廠房項目建設具有高、尖、精的特征。專業種類多、工藝復雜，既有復雜的土建設施，又有苛刻的高等級無塵潔凈車間，涉及電力、儀控、暖通、消防、熱能動力、特殊氣體、劇毒化學品、超純水及廢水處理等特殊工藝。動力站是為主廠房提供動力的主要輔助建筑，是廠區的心臟，主要包括熱水系統、冷凍水系統、壓縮空氣系統、空分氮氣系統和事故通風系統等。廠房動力站內設置冷凍站、換熱站和純水站。

一、冷凍水系統

1.系統組成及原理

系統由冷水機組、冷凍水循環泵、定壓補水裝置、管道、閥門及附件等組成。

冷凍水系統采用閉式系統，冷水機組制備的7℃冷凍水由冷凍水泵送至新風空調機組的冷卻盤管、循環空調機組、工藝冷卻水板式換熱器等。從循環空調機組等用冷設備回來的冷凍水回水( 12℃)由冷凍水泵加壓后送回冷凍機組；設置在站房的定壓補水裝置提供冷凍水系統的定壓補水，補水采用己有RO水。冷水機組根據負荷的大小進行調節，并提供不同的冷量。

冷卻水供/回水溫度為32/37℃。冷凍水管道采用無縫鋼管，閥門采用碳鋼蝶閥。冷凍水管道采用橡塑保溫。

2.測量及控制

冷水機組本身配有微電腦控制，能根據冷負荷變化自動進行能量調節，配有機組安全運行的必要顯示，報警、自動停機等保護設施，本設計增設如下測量控制設施。

當用戶負荷低于20%時，多余的水從供回水總管之間的旁通管回流。新增冷水機組和水泵運行狀態接入原有集中監測系統；冷水機組冷凍水供、回水管設壓力表、溫度計；水泵吸水、壓水管上設壓力表；冷水機組與冷凍水循環泵，冷卻水循環泵，冷卻塔連鎖；冷凍水供回水干管之間設壓差旁路控制裝置。

3.環保與節能

(1)環保措施

選擇使用環保冷媒R134a的冷水機組；選用低噪聲、低振動設備，設備基礎采用隔振墊，設備與管道之間的連接采用柔性連接，以減少噪聲和振動的傳遞；室內墻面敷設吸音材料；運行為中央監控，只需定期去現場巡視。

(2)節能措施

設置節能板換，冬季時冷水機組停止運行，由冷卻塔代替冷水機組，節能環保；選用節能設備；冷水機組的主電動機采用水冷卻，比較經濟；冷水機組的冷卻水循環使用有利于節能。

二、壓縮空氣系統

1.系統簡述

(1)系統組成

系統由空壓機、壓縮熱吸附式干燥器、兩級過濾器、儲氣罐、管道、閥門及附件等組成。

(2)系統原理

來自室外的空氣經空壓機初級過濾、壓縮后，經前置過濾器除去塵埃和部分水分后進入壓縮熱吸附式干燥器，最后經過兩級過濾器過濾后獲得壓力露點小于-40℃、塵埃粒徑≤0.01μm的干燥凈化壓縮空氣，進入壓縮空氣儲氣罐，送至各使用點，使用點的供氣壓力為0.5~0.7MPa。壓縮空氣管道采用SUS304管，閥門為不銹鋼球閥。

(3)測量及控制

空壓機本身配有微電腦控制，配有機組安全運行的必要顯示，報警、自動停機等保護設施，本設計增設如下測量控制項目：

新增空壓機、壓縮熱吸附式干燥器接入現有集中監控系統；供氣干管設流量計：空壓機選用低噪聲、低振動設備，設備基礎采用隔振基礎，以降低噪音；室內墻面敷設吸音材料；運行為中央監控，只需定期去現場巡視。

三、空分制氮系統

1號廠房規劃合計氮氣用量587m³/h，2號廠房規劃合計氮氣用量1443m³/h， 總用氣量為587+ 1443=2030m³/h，現有空分制氮設備1600m³/h，液氮儲罐作為備用系統。

1號廠房規劃+2號廠房一層合計氮氣用量954m³/h，現有空分制氮設備1600m³/h，液氮儲罐作為備用系統，滿足使用要求。

四、熱水系統

7號動力站制冷機房現有三臺水源熱泵機組(單臺制冷量2180kW，制熱量2380kW )一臺水源熱泵機組(制冷量366kW，制熱量403kW)，總制冷量6906kW，總制熱量7543kW。預留機位處再增設一臺雙制式的水源熱泵機組，制熱量為4074kW (制冷量為3700kW)，擴容后總制熱的裝機容量為7543 +4074- 2380=9273kW，可以滿足整個園區的熱負荷需求(9090kW)，同時滿足1號廠房滿產后的冷負荷需求。

五、純水系統

1號廠“房規劃合計純水用量為76.4t/h，2號廠房規劃合計純水用量為226t/h，使用系數為0.8，總的純水用量為(76.4+218) x0.8=236t/h。現有純水站供水能力為120噸/h，在2號廠房動力站建造3套60t/h的EDI純水制備系統，2用1備，滿足1、2號廠房總的純水用量要求。

2號廠房一層規劃純水用量為28.4th，1號廠房與2號廠房一層合計純水用量為28.4+76.4=104.8t/h，現有純水站可滿足使用需求。2號廠房一層所需純水可從現有純水站接入，2號廠房純水制備系統適時配備，兩站管網并網，設備互為備用。

六、事故通風系統

對動力站設置事故通風系統，換氣次數為12次h，自然補風。事故通風分別在房間內、外便于操作的地點設置手動開關。當機房內的制冷劑或其他易燃易爆等有害氣體泄漏時，布置在房間內的氣體探測器發出聲光警報，同時聯鎖事故風機啟動，迅速將泄漏氣體排出室外。

?

廣東賽特凈化設備有限公司工程項目服務范圍：潔凈車間、無塵車間、百級生產車間、食品廠潔凈車間、食品廠無塵車間、GMP車間、藥廠生產車間、實驗室、微生物實驗室、膠囊潔凈車間、膠囊無塵車間、干細胞實驗室、凍干粉針劑潔凈車間、凍干粉針劑無塵車間、電子廠無塵車間、鋰電池車間、鋰電池潔凈車間、鋰電池無塵車間、手術室、試劑室、膠體金生產車間、膠體金潔凈車間、生物實驗室、PCR實驗室、醫療器械無塵車間、醫療器械潔凈車間、藥廠潔凈車間、藥廠GMP車間、電子廠潔凈車間、單晶硅潔凈車間、單晶硅無塵生產車間、保健品潔凈車間、保健品無塵車間、保健品GMP車間、大輸液潔凈車間、針劑潔凈車間、印刷車間、二極管潔凈車間、二極管無塵車間、壓片糖潔凈車間、壓片糖無塵車間、奶粉潔凈車間、奶粉生產車間、奶粉無塵車間、電子材料潔凈車間、電子材料無塵車間、口罩潔凈車間、口罩生產車間、光學材料無塵車間、光學材料潔凈車間、光學材料生產車間。

廣東賽特凈化設備有限公司聯系方式：020—38090335 ?38090329