一、電子潔凈廠房空調(diào)特點
電子潔凈廠房一般包括潔凈生產(chǎn)用房(通常兼有一般生產(chǎn)用房) ，空調(diào)冷水機房，純水、氣體凈化站，人員、物料凈化用房四個部分。《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》將潔凈室定義為“空氣懸浮粒子濃度受控的房間”。并要求“它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)的其他有關(guān)參數(shù)，如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制”。這一定義與最新的國際標(biāo)準(zhǔn)的定義是一致的。從以上的要求不難總結(jié)電子潔凈廠房的特點：因為生產(chǎn)工藝電子潔凈廠房單位面積發(fā)熱量大，為了控制懸浮顆粒濃度形成的循環(huán)風(fēng)量大，由生產(chǎn)線的各種排風(fēng)確定了為維持潔凈正壓所需要補給的新風(fēng)量大，以及最重要的溫濕度控制。
二、電子潔凈廠房中常見的空調(diào)系統(tǒng)形式
1.新風(fēng)機組+空調(diào)機組+高效過濾器的空調(diào)形式
該空調(diào)方式指的是室外新風(fēng)經(jīng)過新風(fēng)機組處理后送入混風(fēng)機組，混風(fēng)機組把回風(fēng)與新風(fēng)混合并處理至所要求的空氣參數(shù)后直接用風(fēng)管送風(fēng)到各終端高效過濾器，通常新風(fēng)機組將新風(fēng)處理到室內(nèi)焓值，不承擔(dān)室內(nèi)負(fù)荷，只承擔(dān)新風(fēng)負(fù)荷，由混風(fēng)機組承擔(dān)室內(nèi)的濕負(fù)荷和顯熱負(fù)荷。
2.空調(diào)機組+風(fēng)機過濾器單元的空氣處理形式
此方案中的空調(diào)機組承擔(dān)了所有熱(冷)濕負(fù)荷的處理，包括室內(nèi)負(fù)荷和新風(fēng)負(fù)荷的處理，計算負(fù)荷時不要漏了FFU風(fēng)機的溫升形成的負(fù)荷，這部分負(fù)荷的量也是比較大的，這種空氣處理方案是將處理熱濕負(fù)荷所需的風(fēng)量和潔凈所需的風(fēng)量分開，這時循環(huán)空調(diào)箱所需的風(fēng)量就大大的降低了，不僅節(jié)省了運行能耗而且還大大的減少了空調(diào)機房的面積，減少了龐大的送、回風(fēng)管的材料和占據(jù)的建筑空間，使?jié)崈魪S房的總高度可以降低，節(jié)約了初投資。
3.新風(fēng)機組+干盤管+FFU的空調(diào)形式
新風(fēng)機組+干盤管+FFU空調(diào)方式指的是室外新風(fēng)經(jīng)過新風(fēng)機組處理后送入潔凈室的天花技術(shù)夾層內(nèi)，干盤管負(fù)責(zé)處理空氣至所要求的參數(shù)，然后用FFU來循環(huán)空氣從而達到潔凈度要求的換氣量，通常新風(fēng)機組將新風(fēng)處理到室內(nèi)露點溫度，承擔(dān)新風(fēng)負(fù)荷及室內(nèi)濕負(fù)荷，干盤管承擔(dān)室內(nèi)的顯熱負(fù)荷，FFU負(fù)責(zé)循環(huán)及過濾空氣。即濕度由新風(fēng)機組負(fù)責(zé)，溫度由干盤管負(fù)責(zé)，潔凈度由FFU負(fù)責(zé)。
空調(diào)機組+風(fēng)機過濾器單元與新風(fēng)機組+干盤管的區(qū)別在于省略了回風(fēng)管。
三、干盤管的換熱面積及干盤管排數(shù)與FFU風(fēng)壓能力的確定
FFU在潔凈廠房吊頂上的布置采用滿布的方式，FFU單元的風(fēng)扇噪音指數(shù)疊加將直接影響到潔凈室的環(huán)境要求。要將綜合好FFU的風(fēng)壓升高引起的噪聲升高和干盤管的換熱面積及盤管排數(shù)作為一個重要指標(biāo)來考慮。
1.干盤管換熱面積
干盤管的換熱面積可由潔凈室循環(huán)風(fēng)量根據(jù)面風(fēng)速法來確定，通常要配合高效送風(fēng)單元FFU的風(fēng)壓來綜合考慮，干盤管的風(fēng)壓損失對整個系統(tǒng)有著至關(guān)重要的意義。但是此數(shù)據(jù)，目前在國內(nèi)，尚未標(biāo)準(zhǔn)化。解決此問題的方法，目前一一般還是根據(jù)廠家實驗室的數(shù)據(jù)，來確定在不同的送風(fēng)速度下，干盤管的風(fēng)壓損失。根據(jù)廠家的實驗數(shù)據(jù)以及業(yè)內(nèi)的經(jīng)驗，風(fēng)壓損失一般希望控制在15Pa以內(nèi)(綜合盤管排數(shù)數(shù)據(jù))，對于系統(tǒng)的設(shè)計來說非常有利。可以根據(jù)實驗室經(jīng)驗數(shù)據(jù)提供的對應(yīng)盤管面積下所取得的風(fēng)速及風(fēng)壓損失來確定設(shè)計當(dāng)中適合的盤管面積。
2.干盤管的排數(shù)
干盤管排數(shù)的增加可以增大盤管與回風(fēng)的換熱效率，然而排數(shù)的增加同樣又增加了FFU單元的壓頭負(fù)擔(dān)，在盤管安裝面積允許的情況下優(yōu)先考慮減少排數(shù)的數(shù)量，將排數(shù)控制在一排到兩排較為有利。可見，寬裕的盤管安裝面積有利于千盤管FFU系統(tǒng)的換熱效率及噪聲控制。在潔凈室空調(diào)系統(tǒng)方案確定階段就綜合考慮到和土建工藝專業(yè)的配合非常重要。
3.干盤管的控制及常見施工問題
干盤管通過水量控制來實現(xiàn)室內(nèi)溫度控制，按照區(qū)域?qū)⒌蹴攦?nèi)的干盤管分成固定的幾組，根據(jù)室內(nèi)溫度傳感器控制的結(jié)果來控制相對區(qū)域單組盤管的閥門開度，從而達到控制溫度的效果。按照設(shè)計理論來說，干盤管是在干工況下運行的，是不會有冷凝水的，但是凈化房間在剛開空調(diào)機的時候，干盤管在進入正常干工況之前是濕工況下運行的，即使凝結(jié)水量很少，還是建議要設(shè)置凝結(jié)水盤及排水管，保證不滴水漏水，而且如果干盤管需要清洗或者排空，也有排水設(shè)施可用，所以盡量考慮設(shè)置凝結(jié)水盤及排水管。
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