一、電子行業潔凈室特點

(1)溫濕度要求精度高。對于電子產品而言，其生產制造工藝對溫度以及濕度等環境因素的變化非常的敏感，在潔凈室的空氣參數應當按照規定進行嚴格控制。

(2)換氣次數以及新風量大。在生產和制造電子產品時，通常會用到很多的化學物品，而且會產生非常多的廢氣，應當從室內排出。實踐中，為了能夠有效確保室內正壓以及衛生條件達標，應當大量補充新風。

(3)空調冷負荷大而且濕負荷小，所以熱濕比近似無窮大。在電子行業領域，潔凈室內工藝設備生產過程中發熱量較大，工作人員通常會穿著密封的防塵服。工藝生產環境下，為了能夠有效減少發生靜電現象，應避免空氣過于干燥。由此設計過程中空調系統在處理室內回風時應該盡可能避免是減濕過程。

二、新風量的確定

(1)人員衛生所需的新鮮空氣量

潔凈室內的工作人員吸入氧氣呼出二氧化碳。在此過程中，若無良好的新風環境，則必然會導致工作人員因缺氧而頭暈、煩燥，不利于工作和安全。所以空調凈化系統中滿足人員衛生要求的新鮮空氣量不小于40m³/(h人)。

(2)排風量

電子潔凈廠房一般都伴有工藝需求的排風，為了平衡這部分排至室外的空氣量，凈化系統需要補償相應的新風量。

(3)維持正壓所需新風量

為防止室外或相鄰的其他用途房間的空氣滲入空調凈化車間，干擾其潔凈度或溫、濕度，為了保證潔凈室一定正壓要求的空氣量將由室外新風來補充，這部分新風量計算主要有縫隙法及換氣次數法。

(4)滿足總風量一定比例的新風量

根據實際項目經驗，考慮到潔凈空調系統中空調機組和送風管道內正壓較高，送風管由于安裝施工原因，不可避免的會有或多或少的漏風率，為了安全起見，特別是在醫藥等行業，新風量的比例應滿足非單向流潔凈室總風量的10%~30%，單向流潔凈室總風量的2%~4%。這時候如果潔凈室人員少，工藝排風少，正壓也足夠，按比例計算的新風量大于系統的需求時，就應該增加潔凈空調的排風量來作為應對措施。

(5)潔凈空調系統中新風量的確定

潔凈室內的新鮮空氣量應取以下三項中的最大值：

a.補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和；

b.保障供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40 m³；

c.滿足總風量一定比例的新風量。

三、新風凈化及熱濕處理

對于面積大且潔凈度(百級或千級)要求較高的電子工業廠房來說，如果采用經典的一次回風空氣處理機組的形式，該系統風管系統占用的空間，費用較大，同時還要占用非常大的空調機房面積，往往工藝廠房無法滿足要求。在電子潔凈廠房中，大部分房間的室內產濕量很小，而設備發熱量很大，室內空氣熱濕比無窮大，在焓濕圖中為一條豎直的線；因而從投資、管理、節能等方面考慮，建議采用新風集中處理與干表冷加風機過濾單元相組合的方式。

新風機組空氣處理過程：新風經過初效過濾后進入表冷盤管，冷盤管降溫除濕將新風處理到潔凈室露點溫度后進入加熱盤管，然后進入二次加熱盤管和加濕段，保證潔凈房空氣溫濕度恒定在設計要求范圍內，最后由風機將處理的新風送到中效和高效送風段，經過風管將空氣送到潔凈室的天花頂的靜壓箱中，和潔凈室的回風混合，通過風機過濾段單元送到潔凈室內。

在冬季室外氣溫較低的北方地區新風往往要預熱，不然與一次回風直接混合的時候很有可能產生冷凝水：潔凈車間一般部有濕度要求，冬季處理過程往往需要加濕空氣，因此增大了加濕負荷。夏季新風含濕量高，溫度也高，與回風直接混合后，有可能需要多級多排的表冷器來處理，大大加大了空調機組表冷器負擔。然而新風集中處理系統，減少了大量循環風的輸送能耗，降低了空調箱的風機壓頭，節省了空調房間面積，避免了能源的浪費。新風作為潔凈室控制的重要污染源，集中預處理可以強化新風的過濾和便于管理，為潔凈室運行提供更安全的保障。

采用新風集中處理方式中，新風處理到室內送風露點，以滿足潔凈室的濕度要求。處理后新風通過風管送至吊頂靜壓箱內。這樣使潔凈空調系統的濕度和溫度分別由新風處理機組和干表冷盤管來負責，使溫度和濕度控制具有獨立性及可操作性，尤其是在潔凈室內新風量變化時其優越性體現得更為明顯。

四、新風節能運行控制方案

(1)新風機組采用變頻風機，由總送風管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入新風機組的新風管.上均設置電動調節閥，由各潔凈室的正壓值來調節電動調節閥的開度，使潔凈室的正壓值不隨生產設備的排風量的變化而變化，電動調節閥的開度變化引起總送風管上的靜壓變化，根據其設定值調節新風機組的風機頻率，來控制新風機組的總送風量。

(2)控制新風機組送風狀態點，使其與潔凈房間的送風露點相同，這樣就可以保證凈化車間的濕度要求。根據送風狀態設定值來調節加濕器的電動執行機構和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度：露點溫度“DPT”由檢查室內濕度敏感元件“HE”連續整定。

(3)凈化生產車間的溫度是由干表冷盤管保證的，經新風處理機處理后的空氣狀態為潔凈房間的送風露點，新回風混合點一定在該潔凈房間的熱濕比線上，根據室內溫度來調節干盤管上的電動二通閥的開度，控制加熱和制冷量，實現室內溫度控制。

一般情況下，在電子潔凈廠房中，大部分潔凈室溫濕度要求基本都相同而且也允許一定范圍的波動，這些車間都可以使用新風集中處理系統。但在某些車間具有很大的室內產濕量，其熱濕比線并不是一條豎直的直線，采用新風集中處理系統就無法滿足要求，應該根據實際需求考慮其它合理空氣處理方式。

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