一、濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個空調(diào)參數(shù)都提出了嚴格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求，由于電子產(chǎn)品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其品質(zhì)的影響，其對濕度的精度提出了嚴格要求，對于空調(diào)系統(tǒng)的配置，則要求系統(tǒng)同時具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。一般的，半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2℃，RH=45±5%；而對于這個溫濕度要求，傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進行處理，并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個致命問題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費，特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況，使得這個問題十分突出。因此，在最新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過新風(fēng)機組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過后空調(diào)機組處理的組合方式，達到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求，并取得了顯著收益。二、工程實例（一）設(shè)計條件及要求：a、室內(nèi)要求：T=22±2℃；RH=50±5%；TL=11.5℃；d=8g/kg；b、潔凈級別：10K ( 10000級) ；c、體積：S=2000m2；H=2. 8m；d、工作人員：30名...
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一、鋰電池產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求分析根據(jù)工藝需求特點，可以大致將鋰電池生產(chǎn)廠房對于空調(diào)系統(tǒng)的濕度需求分為以下三類：1)普通濕度需求空調(diào)房間，如負極涂布間等房間，其濕度控制需求為≤60%，該需求可通過冷卻除濕實現(xiàn)。2)低濕需求空調(diào)房間，如正極輥壓間、正極分條間、正極模切間以及正極二分間等房間，其濕度控制需求為≤20%，以及正極涂布間、負極輥壓間、負極分條間、負極模切間以及負極二分間等房間，其濕度控制需求為≤45%，該需求通過冷卻除濕很難實現(xiàn)，因此往往通過轉(zhuǎn)輪除濕機組處理后來滿足使用需求，機組中設(shè)置一級轉(zhuǎn)輪。3)低露點濕度需求空調(diào)房間，如干燥間、化成間以及注液間等房間，其濕度控制需求為露點≤-50℃，甚至更高，該需求現(xiàn)有的一級轉(zhuǎn)輪除濕機組很難滿足工藝需求，工程中一般設(shè)置兩級轉(zhuǎn)輪除濕段對房間空氣進行處理，以滿足使用需求。二、鋰電池生產(chǎn)行業(yè)除濕方式的選擇和確定現(xiàn)行的空氣除濕方式有很多種，包括冷卻除濕，液體吸附劑除濕，固體吸附劑除濕，膜除濕等。在實際應(yīng)用中，單一除濕技術(shù)很難滿足要求，而且從節(jié)能角度考慮，多種除濕技術(shù)聯(lián)合使用能綜合各種技術(shù)的優(yōu)勢、規(guī)避自身不足，在節(jié)能的同時提高除濕的效率。目前，空氣除濕主要有冷卻除濕和轉(zhuǎn)輪除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中，冷卻除濕在高溫高濕的環(huán)境且對濕度要求不是很嚴格的條件下，效果還是比較好，但在除濕量比較大且環(huán)境溫度比較低的環(huán)境中，濕度和溫度要求比較高的地方，采用冷卻除...
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一、分析醫(yī)藥生物類潔凈廠房的特點及火災(zāi)危險性所謂的潔凈廠房是指在建設(shè)進程有特殊要求凈化車間。由于潔凈廠房在使用上的特殊性，決定了其建筑結(jié)構(gòu)、布局、功能分區(qū)等方面不同于一般建筑物的施工，潔凈廠房具有的特殊性和復(fù)雜性。再結(jié)合醫(yī)藥生物類企業(yè)特點，可以把醫(yī)藥生物類潔凈廠房的特點歸為以下幾類：1.建筑和裝修材料大多數(shù)是可燃材料。由于潔凈廠房需要特殊，常使用許多新的復(fù)合材料，加之一些施工單位缺乏消防知識，選擇顏色鋼鐵和泡沫，增加了火災(zāi)發(fā)生的概率，且這些材料燃燒，會產(chǎn)生大量的有毒氣體。2.醫(yī)學(xué)潔凈廠房由于清潔無菌工藝要求，密封性好，火災(zāi)發(fā)生后室內(nèi)溫度迅速升高，熱量難以散發(fā)，使可燃物很快達到燃點而促使火勢擴大，且火勢沿內(nèi)部風(fēng)管迅速蔓延至各個角落，煙霧覆蓋面積大，能見度低，致使人員疏散困難，極易窒息，搜救工作難度大，人員傷亡率較高。3.制藥行業(yè)潔凈廠房經(jīng)常使用各種易燃易爆危險化學(xué)品，比如使用環(huán)氧乙烷、酒精、天然氣活躍的鎳、鈀炭等易燃易爆物品，制藥技術(shù)在殺菌過程中的火焰法和環(huán)氧乙烷法都有著很大的火災(zāi)危險。二、設(shè)計好廠房的平面布置為了確保廠房的整體消防安全，在廠房建設(shè)前，應(yīng)由設(shè)計單位、建設(shè)單位、使用單位、設(shè)備安裝或供應(yīng)單位對廠房的整體布置提前進行科學(xué)論證。在廠房的平面布置上，重點應(yīng)注意以下兩個方面：首先，易燃易爆的工藝或設(shè)備間應(yīng)盡可能安排在廠房外，或者與廠房貼鄰。如果是特殊情況必須布置在廠房內(nèi)的，應(yīng)該緊...
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電子級磷酸屬于高純磷酸，是電子行業(yè)使用的一種超高純化學(xué)試劑，屬于電子化學(xué)品系列產(chǎn)品之，是電子工業(yè)不可替代的無機化工產(chǎn)品。電子級磷酸廣泛用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器等微電子工業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻，其純度和潔凈度對電子、元器件的成品率、電性能及可靠性有很大影響。而環(huán)境控制是電子級磷酸項目的質(zhì)量保障體系之一，具有十分重要作用。大氣中所含塵埃和多雜質(zhì)，會對高純度的電子級磷酸產(chǎn)品造成污染，因此必須在產(chǎn)品制備過程中和分析檢測過程中，對各個環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理，達到相應(yīng)的潔凈度要求。除工藝空氣必須經(jīng)物理和化學(xué)方法凈化，以免帶入固體微粒等雜質(zhì)外，生產(chǎn)車間、輔助車間、實驗室等都有清潔度要求。由于電子級磷酸質(zhì)量不僅與生產(chǎn)工藝有關(guān)，而且與超凈生產(chǎn)環(huán)境密切相關(guān)。因此必須在產(chǎn)品制備過程和分析檢測過程中，對各個環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理，達到相應(yīng)的潔凈度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計一、空調(diào)負荷空調(diào)負荷主要由圍護結(jié)構(gòu)傳熱、人體散熱、室內(nèi)照明散熱、室內(nèi)設(shè)備散熱、室內(nèi)散濕過程產(chǎn)生的潛熱和新風(fēng)負荷等部分組成。經(jīng)計算，本工程夏季空調(diào)系統(tǒng)耗冷量為214kW，選用一臺制冷量為226. 4kW水冷螺桿式冷水機組；冬季空調(diào)系統(tǒng)耗熱量為345kW，熱源由廠區(qū)鍋爐房提供。二、換氣次數(shù)根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》中提出的換氣次數(shù)與潔凈度的關(guān)系，ISO Class6潔凈度要求的換氣次數(shù)為50~60次/h，...
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一、醫(yī)藥潔凈空調(diào)潔凈度設(shè)計潔凈室是室內(nèi)空氣潔凈度達到一定級別的房間，空氣潔凈級別依據(jù)每立方米空氣中的微粒數(shù)來確定。各個國家對空氣潔凈級別的劃分有不同的標(biāo)準。《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》規(guī)定一萬級潔凈區(qū)每立方米空氣中0.5μm塵粒數(shù)≤350000，≥5μm塵粒數(shù)2000，浮游菌數(shù)≤100，沉降菌數(shù)≤3/皿；十萬級潔凈區(qū)每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數(shù)≤3500000，≥5μm塵粒數(shù)≤20000，浮游菌數(shù)≤500，沉降菌數(shù)≤10/皿。凈化空調(diào)系統(tǒng)通過對空氣進行凈化處理(過濾)以達到規(guī)定的潔凈級別要求。以前較常見的做法是：只給主要房間送風(fēng)，其余房間利用其回風(fēng)或由潔凈走廊回風(fēng)，房間頂部布置回風(fēng)口。這種方法施工方便，但造成各房間交叉污染。初效過濾器、中效過濾器置于空調(diào)機組內(nèi)，高效過濾器(或亞高效)置于各房間頂部(若吊頂空間不夠也可置于房間上側(cè)面)，由房間下側(cè)部回風(fēng)。各房間(包括潔凈走廊)均設(shè)置送回(排)風(fēng)口，上送下側(cè)回(排)。這種氣流組織方法利于單獨調(diào)整各房間的正壓，減少各房間之間的影響，系統(tǒng)潔凈度提高。二、醫(yī)藥潔凈空調(diào)溫濕度設(shè)計醫(yī)藥潔凈廠房據(jù)產(chǎn)品品種、潔凈級別、運行班次、使用時間等劃分為不同的潔凈空調(diào)系統(tǒng)，潔凈室的溫度一般控制在18~26℃，相對濕度控制在45%~65%，常采用一次回風(fēng)處理方案。其處理方法和具體計算與一般舒適空調(diào)有所不同，加上每個系統(tǒng)房間較多，各個房間熱濕負荷不同，設(shè)計時較難兼...
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一、醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)部污染的產(chǎn)生醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)有大量的工藝設(shè)備、運輸工具及工作人員，這些工藝設(shè)備、運輸工具、人員本身會產(chǎn)生粉塵、濕熱氣體、異味及細菌等污染物，構(gòu)成了潔凈區(qū)內(nèi)的污染源。控制潔凈區(qū)內(nèi)部污染物的擴散，也是醫(yī)藥廠房潔凈空調(diào)設(shè)計的重要內(nèi)容。二、控制醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)部污染方式探討1.產(chǎn)生粉塵房間的污染控制藥品生產(chǎn)過程中有許多工序可能產(chǎn)生粉塵，如粉碎篩分、制粒、膠囊充填等工序，如果這些房間空調(diào)氣流組織不合理，會造成粉塵擴散，從而影響到該房間空氣潔凈度。以粉碎間為例，設(shè)計中送、排風(fēng)口可能有幾種布置方式：方案A投料口的粉塵可能會隨氣流擴散至整個房間，導(dǎo)致房間潔凈度超標(biāo)；方案B通過局部排風(fēng)罩，雖可以有效控制投料口的產(chǎn)塵，但可能使局部排風(fēng)罩上形成氣流死角，造成新的積塵點，產(chǎn)生新的污染源；方案C在靠近投料口側(cè)墻上部和房間側(cè)墻底部均設(shè)置排風(fēng)口，可有效控制投料口和出料口的粉塵擴散，防止其污染房間其他區(qū)域。綜上所述，方案C既可以防止粉塵擴散，又不影響房間的氣流組織，應(yīng)為最佳方案。2.產(chǎn)生濕熱氣體房間的污染控制制藥生產(chǎn)線潔凈區(qū)同時還有部分工序會產(chǎn)生濕熱氣體，這些房間很可能因為濕熱氣體的散發(fā)，使?jié)崈魠^(qū)內(nèi)的溫、濕度長期無法滿足設(shè)計要求。因此，在設(shè)計中必須考慮快速將房間中的濕熱氣體排走，如果我們按普通潔凈區(qū)做法，采用上送下側(cè)回的方式，會造成以下幾個問題：(1)濕熱氣體無法快速被排走，潔凈區(qū)內(nèi)溫度過高，...
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《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》對潔凈廠房疏散走廊明確提出了機械排煙要求，但對于潔凈室沒有明確規(guī)定一定要設(shè)機械排煙，實際工程中各地消防部門對于集成電路廠房潔凈室是否設(shè)排煙的問題上要求也不一致；但集成電路生產(chǎn)企業(yè)的業(yè)主通常會將整個廠房進行投保，由于集成電路生產(chǎn)中要使用多種易燃的氣體和液體，保險商一般均要求潔凈室設(shè)置機械排煙措施，否則增加保費。所以在集成電路潔凈工程中，潔凈室機械排煙經(jīng)常是不可回避的問題。集成電路廠房潔凈室國內(nèi)外目前常用的排煙方式有兩種：即下排煙和上排煙。一、下排煙方式下排煙一般是在潔凈室回風(fēng)下夾層或回風(fēng)豎井內(nèi)設(shè)置排煙口，當(dāng)潔凈室或潔凈室下夾層發(fā)生火災(zāi)時，則打開排煙口，開啟排煙風(fēng)機進行排煙，此時新風(fēng)機組繼續(xù)運行，往潔凈室上夾層內(nèi)補充新風(fēng)，并通過必要的閥門切換使上夾層與潔凈室和下夾層隔開，上夾層內(nèi)新風(fēng)由FFU送入室內(nèi)。采用下排煙必須有以下條件：即潔凈室發(fā)生火災(zāi)時，潔凈室頂部FFU下吹的斷面風(fēng)速必須大于煙氣上升的速度，否則煙氣會在潔凈室頂部積聚。通常FFU下吹速度為0.25~0.5m/s，而火災(zāi)的熱釋放率只要大于3kW，煙氣的上升速度就會大于0.5m/s，所以下排煙方式只是在潔凈室發(fā)生小火災(zāi)時有效。下排煙方式最近幾年在國外的一些集成電路廠房中得到應(yīng)用，但國內(nèi)工程中用得較少。二、上排煙方式上排煙是在潔凈室吊頂上設(shè)置排煙口，通過排煙風(fēng)管將各排煙口連接至排煙風(fēng)機，當(dāng)潔凈室發(fā)生火災(zāi)時，打開排煙...
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集成電路潔凈廠房是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該潔凈室對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD (靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級污染物)控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。一、FFU系統(tǒng)已成主流方案根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU(風(fēng)機過濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。第一種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設(shè)計中被廣泛應(yīng)用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。第二種形式的設(shè)計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設(shè)計方案。FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。二、AM...
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IC 生產(chǎn)由于其工藝加工線寬極小，所以對溫濕度的精度要求很高，通常溫度精度為土0.3~±0.5℃，相對濕度精度為±2%~±3%。該類廠房潔凈室一般采用新風(fēng)集中處理加FFU系統(tǒng)，在下夾層或.上靜壓箱內(nèi)設(shè)干表冷器。潔凈室內(nèi)的相對濕度由新風(fēng)機組保證，溫度由干表冷器保證。一、新風(fēng)處理及相對濕度保證新風(fēng)處理機組中設(shè)置初、中、高效三級過濾，以去除室外空氣中的灰塵粒子，設(shè)高效過濾器很有必要，可以延長潔凈室頂部FFU內(nèi)ULPA過濾器的使用壽命；設(shè)置化學(xué)過濾器主要是去除室外空氣中對IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)氣體，根據(jù)工廠所在地的室外空氣品質(zhì)設(shè)置相應(yīng)的化學(xué)過濾器，化學(xué)過濾器后通常需設(shè)中效過濾器以去除化學(xué)過濾器本身的產(chǎn)塵；通過設(shè)在新風(fēng)處理機組內(nèi)的兩級表冷、兩級加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風(fēng)處理機組出口的干球溫度及露點溫度全年基本恒定，而機組出口的露點溫度還應(yīng)根據(jù)其對應(yīng)送風(fēng)區(qū)域內(nèi)的相對濕度進行連續(xù)的重新整定，以保證室內(nèi)的相對濕度。這里不以房間內(nèi)的相對濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內(nèi)的相對濕度連續(xù)的重新整定機組出口的露點溫度，再由該露點溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時的濕度控制。由于外網(wǎng)蒸汽中含有對IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)，新風(fēng)處理機組的加濕應(yīng)采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設(shè)在表冷器前，這樣可以使新風(fēng)處理機組有提高相對濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級純水(一級RO...
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一、安全保證措施1.在項目經(jīng)理領(lǐng)導(dǎo)下，以施工現(xiàn)場專職安全員為首，組織各施工隊、組，各工種的兼職安全員，成立現(xiàn)場安全管理小組，負責(zé)全工地的安全生產(chǎn)的教育、指導(dǎo)、監(jiān)督和管理2.加強對職工的安全思想教育，提高職工“安全第一、預(yù)防為主”的方針的認識，讓每個職工懂得安全生產(chǎn)“人人有責(zé)”。組織現(xiàn)場職工學(xué)習(xí)，貫徹建筑安裝安全技術(shù)操作規(guī)程，對不同工種分別學(xué)習(xí)有關(guān)安全規(guī)程，堅決貫徹執(zhí)行3.嚴格貫徹中華人民共和國建筑法第四十六條的規(guī)定“未經(jīng)安全生產(chǎn)教育培訓(xùn)的人員，不得上崗作業(yè)”。與每個職工簽訂安全責(zé)任協(xié)議，實行獎罰制度，約束職工自覺遵守各項規(guī)章制度4.由專職安全員對工地現(xiàn)場的安全生產(chǎn)進行經(jīng)常性的巡回檢查外，每星期組織一次現(xiàn)場安全管理小組對工地現(xiàn)場進行一次安全生產(chǎn)檢查，促進現(xiàn)場安全生產(chǎn)更上一臺階，消除一切安全隱患，到達安全生產(chǎn)預(yù)防為主的目的5.施工用電由專人負責(zé)，接線正確，不得亂拖亂拉，機電設(shè)備應(yīng)一律設(shè)安全防護罩和接地、接零。機具操作由專人負責(zé)，并安裝觸保器，做到一機一閘一觸保器，同時配有一箱一鎖。特殊工種操作者必須持證上崗，確保安全生產(chǎn)。夜間施工應(yīng)有足夠的照明，并有電工跟班6.切實做好現(xiàn)場施工管理工作，道路要平整、暢通，材料、構(gòu)件堆放有序且平穩(wěn)整齊。施工現(xiàn)場及職工生活區(qū)設(shè)置消防器材，在嚴禁明火的場所嚴禁吸煙，宿舍內(nèi)吸煙應(yīng)備有煙灰缸，不準隨便亂丟煙頭。現(xiàn)場設(shè)有醒目安全標(biāo)志及安全宣傳圖牌，增強職工安全意識...
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